開発・改良に意欲的に取り組んでいます。ユーザの皆さまから寄せられるご意見やご感想は、改善点の優先順位などを検討する際に、貴重なご意見として役立ててまいります。bande.(JA)本発明の一形態に係る成膜装置は、第1の搬送機構と、第2の搬送機構と、成膜部とを有する。上記第1の搬送機構は、長尺の基材を搬送する。上記第2の搬送機構は、成膜位置において、上記基材の成膜面の幅方向両端を被覆する一対のテープ状マスクを搬送する。上記成膜部は、上記成膜位置に対向して設けられた成膜源を有し、上記成膜面と上記一対のテープ状マスクに薄膜を形成する。