system分野の設計要望に応えるためIntelliSense社によって開発された設計シミュレーションソフトウェアです。パラメータ解析を高速かつ容易に行い、デバイス設計を効率化するシミュレーションシステムです。組み合わせたシステム設計も可能です。(図2)解析結果は数値データ・グラフ表示の他に、3次元形状モデル、2次元マスクデータとして出力することで、作成したモデル・解析結果の容易な確認と、エッチング、3次元解析ツールへのデータリンクが可能です。(SME)機能により、有限要素法モデルから任意の複雑な形状のMEMSデバイスの動的、周波数応答を十分にとらえることができ、容易にシステム回路の作成が可能です。マクロモデルを作成する機能です。SME機能を使用して過渡解析を行った場合、3Dモデルで過渡解析を行った場合と比較して計算時間にして約100倍以上もの計算時間の効率化が可能です。SMEの概略イメージ図SMEでは3Dモデルでの解析結果を抽出して、SYNPLEと組み合わせてシステム解析を行うことが可能です。Linkerを使用することで、他社EDAツール(VHDL,HSPICE,PSPICEなど)との連携を可能にし、使い慣れたEDAツールでシステム解析をすることが可能です。Windowsネットワークによるネットワークライセンスも可能です。