MOD法では、金属の有機化合物が有機溶剤に溶解した溶液であるMOD溶液を基板上に滴下、コーティングする。その後、MOD溶液の液膜が形成された基板を加熱することで乾燥させ、さらに高温熱処理を施すことで金属有機化合物中の有機成分を除去すると同時に金属酸化物を結晶化させる。スパッタリング法、CVD法などと比較し、MOD材料を用いると簡単に比率や膜厚を変えた試験が実施可能であり、低コストで金属酸化物を得ることができる。単純に金属酸化物同士を混合して焼成する場合と比較して、その後の焼成温度を好ましくは200°C以上低減することができる。各金属の有機化合物は特に限定されないが、たとえばカルボン酸の金属塩、金属アルコキシド、有機化合物を配位子とする金属錯体などが挙げられる。溶液に使用する有機溶媒は特に限定されないが、エタノール、2-プロパノール、酢酸エチル、酢酸ブチル、2-エチルヘキサン酸、キシレン、メチルセロソルブ、テレピン油、アセチルアセトンなどが挙げられる。安定化剤や粘度調整剤を含んでいても良い。塗布する方法も特に限定されないが、スピンコート法、ドクターブレード法、ディップコート法、エレクトロスプレー法などの方法が挙げられる。塗布厚は特に限定されないが、0.05~100μmが好ましく、0.1~50μmがより好ましい。焼成温度は特に限定されないが、600~1400°Cが好ましく、700~1100°Cがより好ましく、700~1000°Cがさらに好ましい。600°C未満では、焼成が不十分となり、1400°Cを超えると、結晶性が悪くなる傾向がある。単純に金属酸化物同士を混合して焼成する場合には、1300°C程度の高温で焼成する必要があるが、MOD法では1000°C程度の焼成でも、同等の特性を達成することができる。焼成時間は特に限定されないが、0.5~10時間が好ましく、1~4時間がより好ましい。本発明のアップコンバージョン蛍光体は、発光効率も高く、白色LED、バイオイメージング、太陽電池などに好適に適用できる。以下、本発明の実施例について説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されない。下記の実施例及び比較例で使用した材料を以下に示す。実施例1塗布前のSi基板(1,0,0)は、紫外線(UV)照射を10分間行い、基板表面の洗浄・改質を行った。Yb:Erのモル比が0.06:0.02、Ti:Znのモル比が1:1となるように各コート材を配合し、MOD溶液を作製した。MOD溶液をスポイトで約0.05mlSi基板に滴下し、MOD溶液で基板全体を均一に満たすように塗布した。塗布後の基板は乾燥炉を用いて大気中で100°C、10分の乾燥処理を行った。これらの塗布-乾燥の処理を計5回繰り返した。その後、電気マッフル炉で焼成し、UC蛍光体を作製した。焼成の条件は大気中1000°Cで1時間の熱処理を行った。比較例1~4Ti:Znのモル比を1:1とし、Yb:Erのモル比が0:0.06、0.02:0.06、0.06:0.06、0.06:0になるように各コート材を配合して比較例1~4のMOD溶液を使用した。これらのMOD溶液を使用すること以外、実施例1と同様の操作によって比較例1~4のUC蛍光体を作製した。Diffraction(EBSD)法を用いて結晶粒の上の元素を分析した。濃いグレーが亜鉛とチタンを表し、薄いグレーがErとYbを表す。エルビウムのみの元素マッピングとイッテルビウムのみの元素マッピングも行った。薄いグレーがErまたはYbを表す。【0030】[フォトルミネッセンス(PL)特性]波長980nmの近赤外線レーザー(200mW)を用い、レーザーを45度の角度で試料に照射し、発生する光を直上から発光スペクトルを観察した。図1および2に、実施例1および比較例3で得られた蛍光体の元素マッピング図を示す。実施例1の蛍光体では、発光材料のErとYbがほぼ同一か所に分布した大きさが0.1μmであって、粒子間距離が0.5μmの蛍光体が作製できている。比較例3の蛍光体では、発光材料のEr、Ybが島状に分布しており、粒子の大きさは円形に換算すると1μmを大きく超えた。図3に実施例1の蛍光体のErとYbの元素マッピング図を示すが、ErとYbが同じ粒子中に存在することがわかる。よって、ErとYbが合金的な構造を有している。図4に、実施例1および比較例1~4で作製した蛍光体の発光スペクトルを示すが、発光材料のErとYbがほぼ同一か所に分布し、小さな粒子として存在する実施例1の蛍光体では、発光材料のエネルギーの交換が効率的に行われると同時に、アップコンバージョンで発光された光のエネルギーも、効率的に外部に取り出すことが可能となり、発光強度が向上していた。Ybが存在しない比較例1の蛍光体や、Erが存在しない比較例4の蛍光体では、アップコンバージョンすることなく、全く発光しなかった。Yb:Er=0.02:0.06とErの存在量がYbを超える比較例2においては、YbとErがともに存在するにもかかわらず、アップコンバージョンによる発光は検出されなかった。Yb:Er=0.06:0.06である比較例3において、アップコンバージョンで発光された光のエネルギーも、島から外にでることができず、再び内部で消滅する確率が高くなり、発光強度が大きく低下し、Yb:Er=0.06:0.02である実施例1に比べると発光強度が十分ではなかった。これらの結果から、アップコンバージョンのためには、Yb以外の発光成分であるEr元素1モルに対して、Ybのモル比が1を超える必要がある。本発明によれば、発光強度も発光効率も高いアップコンバージョン蛍光体が得られるため、高演色性白色LED、バイオイメージング、太陽電池の高効率化へ応用することができる。