-機能IntelliSuite(R)の全体構造ファブリケーションのシミュレーション:IntelliFABIntelliFABは、ユーザーが望むデバイスをコンピュータ上で仮想的に作成します。製造工程のプランニングに用います。SCREAM用テンプレート装備マスクエディターIntelliMaskで作成したマスクをインポートIntelliFABで作成されたデバイス形状は、性能解析で使用されます。3次元アニメーションによるプロセス工程の可視化マスクエディター:IntelliMaskIntelliMaskは、MEMSで使用することを第一に考えて開発されたマスク編集用の作図ツールです。IntelliFAB、AnisERと共に使用します。作図DXF、GDSIIのインポート、エクスポート習得が簡単な使用方法セル階層VBScriptによる複雑な形状の容易なパラメータモデリング(Windows版のIntelliMask,櫛形デバイスのマスクレイアウトの作成)三次元モデラー:3DBuilder3DBuilderは、IntelliFABを経ずに、直接デバイスの三次元形状を作成するツールです。デバイスの位置関係による静電容量を求めることができます。使用できる物性値は、誘電率です。静電容量と変位の関係を求めるときには、デバイスが剛体移動するとして、境界条件にその変位量を入力することができます。解析結果として、電荷密度と静電圧力の分布図を表示できます。静電容量は、自己容量を含む静電容量成分を出力できます。静電力は、デバイスの変位による静電エネルギーの導関数から計算されています。静電容量が出力できます。数、固有モード)を求めることができます。上記項目に関するパラメトリック解析(振動型センサーの静電圧力解析)負荷として、変位、圧力及び温度を与えることができます。分布図を表示できます。ード)を求めることができます。IntelliSuite(R)では連成した熱構造静電問題を解くためにアルゴリズムを用います。FEMプログラムで、温度分布を求める3D熱解析を行います。次に電位差を与え、静電圧力分布を求める3D静電解析を行います。静電圧力荷重は、FEMに与えられ変位が計算し直されます。この手順を収束するまで繰り返すことにより、連成問題を解くことができます。(実デバイス)(InteliSuiteによる応力コンター図)流体解析IntelliSuite(R)の流体解析機能は、使いやすくかつ高精度の解析が行えます。FBAR解析機能を行います。