テクスチャーエッチング装置テクスチャーエッチング装置シリコンウェーハ表面にテクスチャー構造を形成、アルカリ処理または混酸処理を行った後、リンス・乾燥まで自動で処理します。半導体製造におけるウェットプロセス工程で培った耐強酸、耐強アルカリのノウハウと実績、また、自社の保有技術であるフッ素加工技術、フッ素特性を知り尽くした装置製作をしています。大量の薬液、リンス液を使用する処理工程のため、ランニングコストを抑える省液、省エネを考慮した装置設計を行っています。最適な処理槽形状、システムを日々追求しています。太陽電池セルが益々薄くなり、ウェーハ同士の引っ付き問題が顕在化しています。工場搬送システムと接続することで前後の工程ライン間と自動で連結。工場とのデータ通信により、生産管理の向上へ繋げます。