151的加压容器152、功能液回收系统161的再利用容器162、清洗液供给系统171的清洗液容器172。181的废液容器182。31供给的供液容器153;形成供液通路,连接它们的供液管154(参照图1、图2、图8)。153.供液容器153向大气开放,解除来自加压容器152的压力。31延伸的6根供液管154,这些供液管154分别通过T字接头157分支为两根,形成共计12个分支供液管155。31共计功能液(参照图1和图8)。155的头一侧供给阀156,通过控制部件6开关控制。162引导的回收用管164。