TH300洗浄技術のパイオニア、東邦化成が約40年培ってきた洗浄・乾燥技術を300mmへ展開しました。幅広い対応実績で養った洗浄技術を先端分野へ投入し、高い信頼性を実現。豊富なバリエーションを有するTH300シリーズ・細分化する顧客様のニーズに合せ、バッチ式ディップ、枚葉式ディップ、ワンバス式などと多彩なラインナップをご用意。最先端デバイスに応える処理能力を保有。・シンプルな処理槽構造や独自開発した最適な循環供給ノズルにより循環均一性を実現。加工することでパーティクルやコンタミネーションを抑制。・高い温度均一性や循環均一性より高いエッチングレートとユニフォミティーを実現。したコントロールシステムにより高いエッチングレート選択比を実現。おける装置にかかる応力をシュミレーションし設計にフィードバック。基づき処理槽を設計し、ユニフォミティーの向上や、比抵抗回復時間の短縮を実現。装置設計に活かし最適な装置をご提供。