出願した特許の牽制数、引用された数などを知る事ができます。気になる技術や特許をブックマークしておけば、いつでも後から読むことができます。後で印刷するために、公報をPDFでダウンロードできます。会員登録してastamuseを使えば、もっと簡単に便利にお使いいただけます。会員登録(無料)「astamuse」は世界中の挑戦したい社会課題に挑戦し、未来を創る人のプラットフォームです。メカトロニクス株式会社」に該当した技術の詳細情報一覧です。あらゆる文献や技術を元に、価値のある「芝浦メカトロニクス株式会社」の詳細情報や、「芝浦メカトロニクス株式会社」を活用可能な分野・領域の探索など、目的にあった情報を見つける事ができます。係る基板処理装置は、処理物を浸漬させる処理液を貯留する処理槽と、前記処理物を搬送する搬送部と、前記処理槽、および前記処理槽とは離隔した場所の少なくともいずれかに設けられ、前記処理物の加熱、および冷却の少なくともいずれかを行う温度制御部と、を備えている。【課題】適切なシリカ濃度のリン酸水溶液を供給して、窒化膜と酸化膜における十分な選択比によるウェットエッチングを行うことができるウェットエッチング装置を提供することにある。量を正確に計量することができる計量装置、計量システム、処理装置、および計量方法を提供する。係るフォトマスクの製造方法は、エッチング対象膜の上にエッチングマスクを形成する工程と、前記エッチングマスクを用いて前記膜をエッチングする工程と、を備えている。保護シート61の粘着面に電極露出面が貼り付けられた電子部品60が投入される。この成膜装置には、成膜処理部と剥離処理部5とが備えられる。成膜処理部は、成膜材料を電子部品60に成膜する。プレート表裏を貫通する空気孔632が貫設された冷却プレート63から保護シートを剥がす。この成膜装置には、成膜処理部とプレート解除部4とが備えられる。電子部品60が配列された保護シート61と冷却プレート63とを用いる。この成膜装置には、プレート装着部と成膜処理部とが備えられる。プレート装着部は、保護シート61を冷却プレート63に貼り付ける。保護シート61の粘着面に電極602を立てて電子部品60が載置される。この成膜装置には、埋込処理部1と成膜処理部とが備えられる。埋込処理部1は、保護シート61の粘着面に電子部品60の電極602を埋め込む。係る基板処理装置は、基板Wを個別に支持する第1の置台14a1及び第2の置台14a2を有する受渡台として機能するバッファユニット14と、基板Wを保持するハンド部31を有し、バッファユニット14から基板Wを搬送する搬送部として機能する第2の搬送ロボット15とを備える。”未来を創るためのプラットフォーム”astamuseは、世界中で未来を創るための「仕組み」を提供するため日々改善を進めています。専門用語を解析し、意味や用法を知ることが出来るキーワード情報そしてこれらの情報を最大限活用することで、挑戦したい社会課題を独自の切り口で編集。社会に大きな変化を起こし、未来を創るために活動し続けるのは容易なことではありません。行う為に必要なサービスの提供を行っていきます。それが私たちの考える“未来を創ること”です。