今年は2020年3月5日木曜日に開催いたします。実例と提案が発表され、プロービングテクニックに関するワークショップも実施致します。同時開催のパートナーエキスポではFormFactorのソリューションパートナーによる製品とサービスのご紹介も行います。技術セッション・エキスポ後のレセプションは参加者全員の交流・議論の場としてご活用ください。みなさまのご参加をお待ちしております。2020の延期を決定いたしました。延期時期につきましては決定次第、当ホームページおよびメール等にて改めて告知させて頂くと共に、すでにワークショップにお申込み頂いている皆様に対しては、安全面や時期等において充分な配慮・措置が取れると確認が取れた段階にて、代替開催にて実施できるよう検討しております。ご予定をいただいておりました皆様には、大変ご迷惑をおかけしますこと、深くお詫び申し上げます。皆様のご理解を頂きますよう、何卒宜しくお願いいたします。2020の延期を決定いたしました。延期時期につきましては決定次第、当ホームページおよびメール等にて改めて告知させて頂くと共に、すでにワークショップにお申込み頂いている皆様に対しては、安全面や時期等において充分な配慮・措置が取れると確認が取れた段階にて、代替開催にて実施できるよう検討しております。ご予定をいただいておりました皆様には、大変ご迷惑をおかけしますこと、深くお詫び申し上げます。皆様のご理解を頂きますよう、何卒宜しくお願いいたします。多加夫(フォームファクター株式会社)パラメトリックテストは業界にとってユニークなアプリケーションであり、半導体メーカー毎に要件を満たすためのプライオリティーがあります。T18を使用して、低パッドダメージ、極小リーク測定、30um小パッドプロビングに向けてリリースいたしました。本セッションでは、この新しいスプリングの特性について、また他のスプリングタイプとの比較をご紹介させていただきます。これが各ユーザーの要求に最も合うスプリングタイプを選ぶ一助になればと存じます。Inc.)フォームファクターでは新たに車載用ICのウェハー測定に対応するプローブカードを開発し、-40°C~160°C温度対応128個同測を実現いたしました。POT、パッド下ダメージなどのデータについて触れながら、車載用IC業界全体の成長、技術的な動向、ウェハー測定における挑戦についてご紹介いたします。Inc.)DRAM製品のプロセスノードは1X,1Yと微細化が進み、ウェハー当たりのチップ数はいまや2000個以上となっております。ウェハーテストにおいて一括コンタクトのプローブカードの要求は必然であり、投資を抑え実現するには保有するテスタのリソースを最大限に活用することが重要となります。フォームファクターのTRE技術は信号シェアを可能にし、テスタのリソースを拡張した多数個同時測定が可能となっております。多数の信号のシェアにつきまとう、信号品質の劣化という問題を解決するため開発したTTRE技術により、ウェハーイールドに影響を与えず、高いクロックレートでの測定を実現しております。実現したTTREについて、またTTRE実現のためのテストプログラムの考察、シミュレーション結果、実デバイス測定結果についてご紹介いたします。昌紀(フォームファクター株式会社)マイクロLEDやVCSELなどの新しいテクノロジーは新しいアプリケーションの可能性を広げています。フォームファクタージャパンは長年のプローブカードとプローブステーションの経験を元に、光学測定を含むユーザーのご要望に沿った測定機器の開発を進めています。両面テストや複数の光学ユニット等の課題に対してそれぞれ独自の解決法を生み出し、いままで不可能と思われていた測定を可能にしています。本セッションでは私たちが開発してきたいくつかのテクノロジー/メソッドをご紹介いたします。徹(フォームファクター株式会社)近年、オンウェハーRF測定の周波数は急速に上昇し、中にはその測定を広い温度範囲で行う必要があるユーザーも見られるようになってきています。フォームファクターは長年バンド毎のミリ波測定ソリューションを提供してきましたが、それらは低温時に結露を防止し、光・EMIのシールドを提供するMicrochamberを使用するため、電気的・物理的に長い導波管セクションを必要としていました。低い周波数帯ではこの長い導波管セクションは大きな問題とはありませんが、例えばWR3(220-325GHz)等の高い周波数バンドでは問題となってきます。Diodes社(VDI)はサイズの小さな周波数エクステンダーを提供し始めていますので、我々もこの小さなサイズと優れた性能を生かす追加ロスを最小化するソリューションを提供してまいります。300mmウェハープローバー上でWR3の小型周波数エクステンダーを使用した追加ロスを最小化したソリューションを紹介させていただきます。Singapore)従来、携帯電話やWiFiを超える周波数でのRFプロービングは、信号ラインの数も限られ量産テストの要求にも対応しないものでした。新しい5Gや高速ディジタル用のデバイスの開発は、こうした従来のRFプロービングに新たな挑戦をもたらしています。本セッションでは、このような5Gデバイステストに対応するフォームファクターのRFプロービングの市場動向および技術(プローブカード)をご紹介させていただきます。