2019年7月25日、2019年度第1四半期(2019年4月〜7月)業績を発表した。LSI、電子部品で構成されるデバイスソリューション事業は、売上高が前年度同期比35.6%減の846億円、営業損益は前年度同期から84億円悪化、77億円の赤字となった。このうちLSI事業の売上高は同80.7%減の179億円となった。2018年度第4四半期に連結から外すなどの事業再編を進めたことにより、大幅な売り上げ減となった。営業利益についても国内工場の再編費用増加により減益となった。2019年度通期のデバイスソリューション事業の業績見通しは、売上高が前年度比38.4%減の3,000億円、営業利益はゼロとなっている。LSI事業については売上高400億円にまで縮小する見通しである。東京エレクトロンは2019年12月23日、子会社である東京エレクトロン宮城の本社工場敷地内に、「宮城技術革新センター」を建設することを決定したことを発表した。設備を含むと19,400m2)。2020年6月着工、2021年6月竣工を予定している。1階にパートナ企業との共創空間として利用できるラボエリアと、顧客トレーニングセンターを設け、1階から2階にかけてはオープンイノベーションエリアを設ける計画である。3階、4階はオフィスエリアとする。東京エレクトロン宮城が開発・製造しているエッチング装置の市場は、技術革新が続き今後も大きな成長が見込まれる。性向上をさらに推進してく計画である。