長年に渡る白色光干渉計の開発・設計実績に基づきの開発された代10世代目となるこの計測システムは、業界最大の視野の最高垂直解像度を可能にします。X、Y、Zステージ、ブルカー独自のチップ/チルトヘッドを搭載し、300mm対応の大型基板の自動測定に対応するハイエンドモデルです。ReliabilityContourGT-Xは、ブルカーの特許取得済みの傾斜調整(チップ・チルトヘッド)、特許取得済みの自己校正機能付きリファレンスシグナル、統合パターン認識、および独自の様々な干渉法のイノベーションが組み込まれている唯一のシステムです。その他の独自の干渉計測技術革新が組み込まれており、高スループットで極めて正確な表面計測が可能です。システムの自動化対応構成により、X、Y、Zウェーハの配置精度を向上させるエアテーブルスタビライザーキット、統合用のPDU、EMO、および真空システムからオートローダエンドエフェクターと互換性のある修正真空チャックまで、幅広い製造現場でスピーディーに導入が可能です。高解像度イメージ向け高精度ステージContourGT-X電動XYステージは、X方向とY方向に12インチのエンコードされた動きを提供します。このステージは、多点データ収集などの自動化されたルーチン、および大面積解析のためのステッチング機能をサポートしています。0.5ミクロンのエンコーダは、信頼性があり、再現性のある自動化とサンプル位置決めを提供します。サンプルの位置決めは、直感的なジョイスティックとソフトウェア画面からの制御により容易な操作を実現します。直感的な操作性と分析ソフトウェアブルカーのVision64®ソフトウェアは、業界で最も機能的で能率的なグラフィカルなユーザーインターフェースにより直感的な操作性を実現します。プロセスワークフローのカスタマイズ、マッピングの自動化、測定手法のロードなどに対応する各種ツールを備え、高速インライン分析により製造品質の向上に貢献します。MEMS、トライボロジーなど幅広いアプリケーションに対応します。