究開発活動のハイライトを報告します。プリケーションの鍵となる技術を示します。今年度の同会議への参加は、研究開発におけるインフィニオンの先導的地位の強化につながります。IEDMは毎年12月に開かれる、マイクロエレクトロニクスやナノエレクトロニクス関連のデバイスとプロセスの進歩を発表する世界第一級の会議の一つです。方面における先導的な成果を伝える230件以上の論文が発表されます。インフィニオンによる技術発表の表題と要約を、以下にご紹介します。不揮発性メモリ用として、多くの有機素材や無機素材が提案されてきました。ンセプトとその要件を報告します。この技術で作られたメモリセルはすでに有望な信頼性データを示しています。年以上かけて収集したデータを今回初めて公開します。更なる研究では、この素材は寸法20nm以下にまでスケーリングできる可能性が示されています。揮発性メモリに使える記憶素材として魅力的な候補です。バルク弾性波共振器をベースにした生体認証センサマイクロエレクトロニクスの新しい応用として大きい潜在力を秘めている市場は、医薬および診断用のソリューションです。現在は光学的センサの使用が一般的です。質量センシングにバルク弾性波発振器を使った、界面生化学をベースとする新しい生体認証原理を開発しました。価で高感度の電子センサシステムで置き換えられる利点を持っています。1平方μmあたり0.1ng(ナノグラム)以上という記録的な解像度がすでに実証されています。んぱく質抗体検出やDNAハイブリダイゼーション検出など、医薬ないしヘルスケアの広範なアプリケーションをカバーする多様な目的に好適です。第四の素材:新しいDRAM集積方式を可能にする熱的に安定な有機ポリマーシリコン半導体の世界に取り組むプロセス・エンジニアは、同じ問題に直面しています。数の素材をベースとしていることです。これらの素材しか使わないとすると、集積の選択肢は限定されます。第四の選択肢としてのレジストは、高温処理ができないという制約があります。ンフィニオンが共同開発した熱的に安定な有機ポリマーは、新しい集積方式を可能にする、相反する長所を兼備しています。有機材料が使用できることを発表します。この新集積方式では、理想的なギャップフィル特性、良好な平坦性、450°Cを超える高温安定性を備えた、ある有機スピンオン・ポリマーの改良版を使っています。DRAMチップは、高い歩留まりを示しています。この方式は、新開発材料を用いた前工程(FEOL)集積スキームの実用性を実証しています。実証された集積スキームは、DRAMトレンチ構造を70nm以下の世代にまで拡張することを可能にします。サブスレショルド・スイング100mV/decadeの分子薄膜トランジスタ多様なアプリケーションに向けて、各種の有機薄膜トランジスタ(TFT)が開発されています。しば20Vを超えます。)ゲート絶縁膜を使用した、分子薄膜トランジスタを発表します。100mV/decadeにまで低減しました。チャネル長5μmのトランジスタについて測定された相互コンダクタンスは0.01μS/μmでした。報告された有機半導体デバイスの相互コンダクタンスとして最大です。DRAMトレンチ領域に対するアルミナ原子層堆積法(ALD)モデルDRAMセルのシュリンクに伴うアスペクト比(縦横比)の増加により、高誘電率絶縁膜に対する段差被覆性と成膜均一性に関する要求がますます高まっています。ALD)を用いた場合でも、こうした仕様を満たすのは容易ではありません。ールに対応した、斬新なALDモデルを開発しました。ALDについて検証を行いました。応炉スケールに関して、ALDの首尾一貫した描写が得られました。来のDRAM世代に対して高アスペクト比トレンチ領域への絶縁体ALDを適用する際の膜プロファイル進化をシミュレーションすることが初めて可能となります。超微細化SOIトランジスタの内部トランスポートを検証するための原子レベルの強束縛計算(招待論文)インフィニオンは、ゲート長およびチャネル厚が10nm以下という高度に微細化されたトランジスタに対する、トランスポートの正確なシミュレーションを発表します。0nm以下とは、チャネルに沿ってシリコン原子の並ぶ数が50個以下に相当します。ここで使われる計算は、トランジスタの基本的な格子構造を前提とした斬新な方法をベースにしています。小型トランジスタのデバイス挙動に及ぼす原子レベルの効果を直接検証することが初めて可能となります。ート酸化膜トンネリングやデバイス微細化にともなう量子力学現象に関して、多くの知見を紹介します。ート長を少なくとも4~6nmまで縮小しても、トランジスタが正常に動作することが予見されることです。ランジスタを原子レベルでシミュレーションするという目標への更なる一歩となります。情報化社会の鍵となるアンビエント・インテリジェンス(招待論文)この招待論文では、「アンビエント・インテリジェンス」の実現に向けた最新の成果を紹介しています。ービスと機能性が関心事となっています。この動きにおいて鍵となるのは、ヒューマン・マシン・インターフェイスを大きく向上させるシステム・ソリューションです。価な電子技術およびシステムから、ユビキタスなセンサ・ネットワークやスマート・テキスタイル用エレクトロニクスに至る、鍵となる技術とシステムを紹介します。レクトロニクスが人間のニーズを普遍的、直観的かつ便利な方法で満たす未来世界へ向けた、半導体技術のロードマップを示しています。動車および産業分野や有線通信市場のアプリケーションへ向けた半導体およびシステムソリューション、セキュア・モバイル・ソリューション、メモリ製品などを供給しています。ジア太平洋地域ではシンガポール、そして日本では東京を拠点として活動しています。2003会計年度(9月決算)の売上高は61億5,000万ユーロ、2003年9月末の従業員数は約32,300名でした。ンフィニオンは、フランクフルトとニューヨークの証券取引所に株式上場されています。