シリーズ*将来の筐体イメージです。弊社の都合で予告なく変更する可能性もあります。ギガフォトンのGTシリーズと新たな技術を融合した、最先端のエキシマレーザこれまでギガフォトンが半導体リソグラフィ用光源のエキシマレーザ製造から得た技術とノウハウを集結して、お客様との技術の融合により新たに作るGIGANEXは、高性能DUV光源として、半導体リソグラフィ以外の分野でも新しいイノベーションを生むことができると私達は確信しています。期待する応用分野FPD製造プロセス、フレキシブルデバイス製造プロセス、半導体製造プロセスレーザアニール向け大出力エキシマレーザGIGANEXシリーズはギガフォトンのGTプラットフォーム上に設計されており、最大限の共通化が図られているため高い信頼性が期待できます。引き継いで、よりレーザアニールに最適化した設計を実現させることが期待できます。主仕様については弊社の都合で予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。ご興味がございましたら弊社担当までお問合せ下さい。マーケット需要、弊社の都合で変更することがございます。