ウェハ各サイズ(12インチ/300mmまで)対応。チャック方式ですので、チャックマークが一つしかつきません。外装の色・材質は、お客様仕様に各種対応可能です。チャックの素材は、ピーク(黒)をご用意してあります。チッピング検査にも対応可能(8インチのみ・別仕様)です。処理時間標準5秒の高速度タイプです。SUS磨き2011.12月ページトップへ戻るご希望にあわせた仕様変更なども可能です。お気軽にお問合せください。