"真・MFC千夜一夜物語”@niftyココログ版の2つで同時連載進行を行って参りましたが、既に告知の通り2019/5/11をもって@niftyココログ版の方を終了させていただきました。2017"版での連載は、変わらず続けて参りますので、どうか千夜一夜=1001話にたどり着く迄、宜しくお願い申し上げます。2019年6月号(5/25発売)では混合ガスをマスフローコントローラー(MFC)、マスフローメーター(MFM)で使用する際、そして混合ガスをMFCで作る場合の解説を行っています。液化ガスさて、長かったマスフローでこのガスを使う時は注意しよう!の最終話です。今回登場するのは、MFCの大敵=液化ガスのボスともいえるガスの登場です。(最終話らしい展開ですね。=フッ酸と呼ばれる大変危険な毒物です。Decoがデビューした頃、当時の師匠に、「半導体工場バックヤードに入ったら、透明な液体を、けっして水とは思うな!」と教えられたことがあります。これは「フッ酸のような危ない液体と見誤るな!」という意味でした。gの恐ろしい毒物です。皮膚に接触すると、体内浸透し、体内のカルシウムイオンと結合してフッ化カルシウムを生じ、激痛と共に骨を侵していくのです。多量に浴びれば、血中のカルシウムを喪失して死に至りますし、少量でも骨に穴が開きますこれは恐ろしい現象です。いった毒物を使っているのが、半導体製造装置なのです。主な用途はクリーニングガスと呼ばれる洗浄用途です。HFにMFCを使った事例があったのですが、不具合が多く問題が多発しました。液化ガス特有の液化の問題が1つでした。液化したHF=フッ酸ですから、これがバルブ周りに残留した状態のMFCを修理したくても取り外す事すら憚られる状態になってしまいます。その液化を防ぐ為に、当時のMFCはヒーターで昇温されて使用されいていたのです。昇温自体は断熱膨張を起こしやすい液化ガスに対する対策として第283話でも説明したやり方で間違ってはいなかったのですが、問題が生じたのはコンバージョンファクター(CF)に対してでした。HFのCFは通常窒素に近い1.0と言われています。このガスが厄介なのは温度によりCFが0.3~1.0まで変化する性質がある事でした。温度条件を変えると、CFが大きく変化してしまい、流量がずれて行ってしまうという問題を抱えていたのです。ここからはもう時効なので、お話しします。Decoもガスメーカーさんの協力で、何度かその実験に参加させて頂き、ある程度の知見を得たのですが、これには温度だけでなく圧力条件も関わった複雑な要素があったのです。ここまでCFが変動するガスの制御は簡単ではありませんでした。MFC)を応用して、絶対圧センサーと温度センサーによりCFテーブルをリアルタイムに選定して制御するMFCでした。今現在、HF用ではありませんが、実は同じ思想で作られたMFCがあります。このMFCはかなりマニアックな思想で作られていますので、カタログを一覧しただけでは、そのすごさは全くわかりません。ブロンコストも“最後の熱式MFC”と考えているというこのMFCに関しては、またの機会にお話ししましょう。窒素や空気で調整されたMFCにとって実ガス制御とは、そう簡単にいかないものです。この章で例にとってお話ししたガスはほんの一部ですが、色々と参考にして頂ければ幸いです。Prestigeシリーズがバージョンアップをするとのニュースが入ってきました。2018年のアップデート内容は、本ブログ記事でお知らせしたとおりなのですが、2019年になって更に隠し玉的な内容があったようです。Prestigeシリーズはマルチガス対応として、25種類のガス種とそれらを最大5種まで任意濃度で混合したガスにガス切り替えが可能なデータを本体に内蔵していました。これは、FLOW-TUNEというブロンコストが配布しているソフトを使用して、windows-PCからユーザーサイドで簡単に切り替えが可能な優れものです。出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>これは素晴らしいことです。レンジ・分流構造により影響を受けてしまい、一種類のガスに対して一対一ではなく、一対多、つまりマルチCFであるという弱点をカバーすべく、ハード側で測定した温度、圧力条件で自動補正してくれるグレードを有する、真の意味での実ガス流量に限りなく近い流量測定・制御が可能なマスフローだったからです。800種を超えるデータが搭載されるとすれば・・・まさに鬼に金棒!真の究極にまた一歩近づいた姿に進化することになるからです。2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。