カタログ等で確認頂くとわかります。100°C仕様の高温MFCを依頼した場合、その保証温度範囲は90~110°Cまでなのです。堅いことを言うとそういうことなのですが、こういったご質問の背景には、高温環境で原料供給をする場合に高温MFCを使用するのはマストとして、ヒーティング前後にチャンバー内のガス置換やパージで常温ガスを供給したいという要求を1台の高温MFCで対応できないかな?という事情がある場合がほとんどです。高温MFCは常温用MFCの倍から3倍はする高価な買物です。1台2役を期待できないか?常温ではたいした流量精度は要らないのだけど・・・というお考えはわかります。メーカーに確認頂くのも一手です。MFCだから精度さえ問わなければ常温でも動作なんとか動作するのではないの?」というご意見もあるかもしれません。危惧されるポイントは1つ。一般的に高温MFCは常温のそれよりも高いセンサー温度になっています。ピーキーな特性だと考えて頂いていいと思います。その為、常温で使用する際には、ゼロ点のズレが大きくなる傾向があります。高温MFCを常温環境で設定信号5%F.S.で流量設定して使用した際に、ゼロ点が+6%F.S.ずれていたらMFCは流量制御動作できるでしょうか?設定入力より流量出力なのですから、MFCは当然バルブを閉める方向に制御してしまいます。MFCは全閉になってガスを流さないのです。いった危惧もあり、MFCメーカーさんとしては、高温MFCの常温での使用をオフィシャルに認めることはないと思います。できたらもう1ライン常温用MFCを併用してあげて下さい。MFCを購入する予算がと言う場合は、パージメーターやニードルバルブ、ラインレギュレーターという代用手段もあります。事故というものはイレギュラーな使い方をした際に発生する確率がグンと上がります。安全重視でお願いしますね。2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。