"真・MFC千夜一夜物語”@niftyココログ版の2つで同時連載進行を行って参りましたが、既に告知の通り2019/5/11をもって@niftyココログ版の方を終了させていただきました。2017"版での連載は、変わらず続けて参りますので、どうか千夜一夜=1001話にたどり着く迄、宜しくお願い申し上げます。2019年6月号(5/25発売)では混合ガスをマスフローコントローラ(MFC)、マスフローメータ(MFM)で使用する際、そして混合ガスをMFCで作る場合の解説を行っています。液化ガス前回に引き続いて、バルブオリフィス部で断熱膨張を起こしやすい液化ガスを使用する際の注意事項に関する解説です。パージ、真空引きから始まって、禁断のドライヤーまで持ち出しても、一度液化した流体はMFCの内部から簡単には抜けてくれません。下手するとセンサー部へ逆流して、センサー管やバイパス(層流素子)のチューブを閉塞させてしまう可能性もあります。青く着色部)こうなると装置を停止させて、MFCを交換するしかありません。反応性の強い、半導体製造プロセス用材料ですとMFCを交換しよう配管を開放した際に、空気と反応して生成物を作ってしまう事もあります。良い例(悪い例?)がジクロロシラン(SiH2cl2)です。Decoの現役時代、内部でジクロロシランが液化したMFCが修理で戻ってくると、中は真っ白になっている事が多かったです。これはSiと空気中のO2が反応して、SiO2を作ってしまったからです。なると部品(センサー、バイパス、オリフィス等接ガス部品)は全交換、ボディは洗浄で何とかなればいいですが、ダメな場合はこちらも新品交換で、下手したら新品が買えるくらいの、目が飛び出るような高額修理見積がメーカーから出てくることになります。影響はMFCだけではなく、前後の配管にも異物の汚染が確実に発生してしまい、下手すると1ライン丸ごと配管系を総取り換えになってしまうのです!そうなるとMFCを交換するよりはるかに長い時間の装置停止となってしまいます・・・このように液化ガスをMFC内部で液化させてしまうと、流量制御異常でプロセスに問題は生じるわ、交換作業で装置を止めなくてはならないわ、挙句に配管が汚染されるわ、挙句に高額の修理費用と長期の装置ダウン・・・と大変な事ばかりです。要は液化してからの対策ではなく、できるだけ液化させないようにする対策が重要なのですね?MFCでの液化ガス対策は、以前はヒーターによる昇温が行われていました。MFCにヒーターを巻くのですが、まずこの時点でアウト!な事例を下図左に示します。MFCのバルブオリフィスで断熱膨張が起きるのに、上部の基板が収まっている場所を昇温しても意味がありませんね?むしろセンサーの温度補償回路に悪影響を及ぼすだけです。正解は右の底面部分のSUSブロック部です。昇温は断熱膨張による液化にはそれなりの効果があります。これには落とし穴もありまして、ヒーティングした部分と、していない部分の境界や、配管機器の熱容量差によって生じる昇温ムラによるコールドスポットの発生で新たな液化を起こしてしまった事例があるのです。MFCは配管、そして他の機器(バルブやラインレギュレーター)と比較すると大型になり、特に底面SUSブロック部分はかなりのボリュームがありまので、熱容量が大きい傾向があります。上図のように昇温する際は、MFCだけは独立したヒーター&温調器をあてがって頂いて、温度勾配を付けた厳密な温度管理をして頂く必要があるのです。次回はMFCのバルブ部の工夫で液化を逃れる方法に関してお話ししましょう。"真・MFC千夜一夜物語”@niftyココログ版の2つで同時連載進行を行って参りましたが、既に告知の通り2019/5/11をもって@niftyココログ版の方を終了させていただきました。2017"版での連載は、変わらず続けて参りますので、どうか千夜一夜=1001話にたどり着く迄、宜しくお願い申し上げます。2019年6月号(5/25発売)では混合ガスをマスフローコントローラー(MFC)、マスフローメーター(MFM)で使用する際、そして混合ガスをMFCで作る場合の解説を行っています。本来13回で終わるつもりでした“マスフローでこのガスを使う時は注意しよう!”ですが、リクエストがあったので、もう少し続けますね。液化ガス半導体製造プロセスでは、常温で液体の材料を気化して使う事がありますが、それとは別に常温で気体であるけれど、冷却や圧縮することで液体になってしまうものを液化ガスと呼んでいます。アンモニア、プロパン、ブタンなどが一般的ですが、半導体向けだと三フッ化ホウ素(Bcl3)、ジクロロシラン(SiH2cl2)、六フッ化タングステン(WF6)、三フッ化塩素(ClF3)等々ぞろぞろとそういったガスが出てきます。これらのガスを通常仕様のMFCで使用すると、ほぼ確実に流量制御バルブ、オリフィスで再液化してしまいます。その理由は、断熱膨張による冷却効果が生じる為です。物体が外との熱の出入りなしにその体積を増した場合、断熱膨張を起こし温度が下がります。これは理想気体を断熱条件の下で準静的に変化させた時の圧力と体積の関係を示すポアゾンの法則によるものです。実際にMFCのバルブで生じている現象を下図で見てみましょう。MFCの流量制御バルブには必ず絞り部分(オリフィス)があります。流量を調整するには、1mm未満の狭いオリフィス(固定)とバルブアクチュエーターのリフト量(可変)の組み合わせを使用するのは、今までのブログ記事で何度かお話ししたかと思います。この狭い空間を液化ガスが通過した際に、流速が急上昇し、断熱膨張を起こしているのです。液化してしまうと、バルブを閉塞させてしまい、流量制御が不可能になってしまいます。液化の兆候は、流量制御が不安定になるところから始まります。設定信号(SV値)に対して流量信号(PV値)がふらふらつき始めてしまうのです。液化でオリフィスが塞がれ始めると、更に流路が狭まり流速が上がっていくので雪だるま式にガスは液化して、すぐ閉塞に至ります。なるとMFCのPV値はほとんどゼロになってしまいます。これは困った現象ですね?果たしてどう対処したらよいのでしょうか?一番最初に試みるべきなのは、窒素パージです。MFC二次側をベントへ切り替え、真空引きと窒素パージを繰り返すことで液体を廃除できれば、MFCは高い確率で機能復帰します。MFCの内部構造は複雑で狭い流路が多いので、なかなか液体を排出することは難しいのです。次に試すべきは設備的に可能ならばですが、一時的にMFCを昇温することです。次回お話ししますが、液化ガス用のガスラインはヒーターで昇温できるようになっている構造の場合もあります。それを使うのも手なのですが、液種によっては閉鎖空間に残存した液体が昇温されることで再気化するだけではなく、反応してしまうとなると大変危険です。お勧めできるやり方ではありません。Decoの若いころは、よくお客様が液化したMFCにドライヤーの温風を当てていた現場もありましたが、熱式のMFCのセンサーの方式によっては、センサーの破損を招きかねませんので危険です。「MFCの電源は遮断すること」この3つが最低条件になります。これで回復しても、どっかに液が残っていて同じことを繰り返す可能性も高いので、最終的にはMFCを交換しないといけなくなてしまいます。生産を止めて交換作業を行う訳ですから、工程から見たら大ダメージですね。ならないように、MFCで液化を起こさないようするにはどうしたらよいのでしょうか?このお話は次回に続きます。2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。