分析X線励起は、中間元素領域から重元素領域における電子励起よりも、はるかに効率が高く、感度も20倍から50倍の向上を示しています。ppmまでの達成が可能です。これにより、SEMでトレース元素検出ができるようになります。以下のスポットサイズまでの低電力の微小焦点管のX線ビームに重点を定めたポリキャピラリー光学素子を備えています。電子ビームに寸分の狂いもなく揃えることができます。値に設定されています。作業には干渉しない十分過ぎる間隔を保ちながら、優れた励起強度を与えられるほど接していることです。検出器を用いて測定されます。X線源の菅は、任意の励起スペクトルを生成し、結晶質の試料で回析ピークを抑える場所に回転できるフィルター・セットを備えています。試料のトポグラフィーを原因とするシャドーイングと乱れは、X線源に対する試料を傾斜させ、垂直に放射させることによって対処できます。このプロセスのもうひとつの有用な効果は、シーメンスのスターマップが示しているように、さらに向上した空間の分解能です。システムの検出器と信号処理チェーンを応用しています。検出器は、優れたエネルギー分解能および信号処理電子機器の最高速度を保証します。2.0ソフトウェアによって制御され、マウスのクリックひとつでメソッドを変えることができます。両メソッドの結果は、EDSを誘導させた電子の軽元素の能力およびXRFの重元素の感度を完璧に応用した最適な精度を得るために結合させることができます。ソフトウェアは、対物の測定、ラインスキャン、SEM試料ステージを用いたマップなどをサポートしています。マップとラインスキャンは、各ポイント(ハイパーマップ)で全スペクトルと共に保存されているので、オンラインでもオフラインでも処理することができます。