様々なニーズに合わせた専用機をOEM提供しています。THKインテックスがOEM提供している機器類は、ナノテクノロジーを活用した超精密位置決め機器類から、大型の精密ステージ・テーブル類まで用途に応じて多彩です。■XYユニット(石定盤タイプ)石定盤を使った検査装置で、リニアを採用することによって高精度を実現しています。Y軸:750mm分解能:0,001mm最高速度:500mm/s■XZユニットX軸の真直度と、Z軸の繰り返し精度を高めたユニットで、Z軸はコアレスリニアモーターを使用した楔式機構によりコンパクトになっています。クリーンルームに使用されるために全体がカバーされているのが特徴です。Y軸:55mm分解能:0,001mm最高速度:150mm/s■一軸ステージ1軸ステージにアライメント機構を載せたステージで、アライメント部にはTHK製品のクロスローラーリングを採用しています。外観寸法:2800mm[W]x980mm[L]x250mm[H]動作ストローク:2500mm分解能:0,001mm最高速度:500mm/s■一軸ステージ(除震台仕様)除震台付きの1軸ステージです。外観寸法:2200mm[W]x1900mm[L]x950mm[H]動作ストローク:1500mm分解能:0,001mm最高速度:300mm/s■一軸ステージ(LMガイド仕様)本装置はリニアを使用した、高精度1軸ステージです。外観寸法:2800mm[W]x980mm[L]x250mm[H]精度保証ストローク:300mm動作ストローク:320mm(ストッパーstを除く)分解能:0,001mm最高速度:200mm/s搭載荷重:1kg本体質量:80kg■6軸パラレルリンクステージ本装置は、6本の電動シリンダをパラレルに上下ベースの間に設置し、トップテーブル平面が自由に運動できるよう構成されたユニットです。トップテーブル上に自動車やヘリコプター等の輸送機器を設置し、モニターの映像に合わせ揺動するシミュレーターや、擬似的に地震波等の運動、振動を作り出す試験用装置として使用されます。ユニット事業サイトのご利用について©2020。