開発し、Liの分析も可能な高分解能軟X線分光器の開発に成功しました。eVの高いエネルギー分解能での観測に成功しました。この開発した回折格子を分光素子とした、商用の高エネルギー分解能軟X線分光器を搭載したEPMAおよびSEMを用いて、この分光器の利用範囲の拡大、特に工業的利用を目的としたアプリケーション開発を進めています。採用しているため検出系に可動部分がなくなり、この素子のカバーする全分光領域のスペクトルを一度に計測できるばかりでなく、選定した走査領域の各点のスペクトルをスペクトルマップとして収集できるという大きな特長を持っています(図1)。この分光器のエネルギー分解能は、EPMAに用いられている通常の波長分散型分光器(WDS)よりも1桁以上良好で、商用機としてもAl金属のAl-Lスペクトルにおいてフェルミ端で0.3eVを保証しています(図2)。eV)の計測が可能です(図3)。この特長を利用すれば、Liイオン電池負極のLiの充・放電に伴う挙動などを追跡することも可能で、Liイオン電池の開発・評価などに資する事が期待されます(図4)。高いエネルギー分解能を持つため、この分光器で取得した特性X線のスペクトルは元素の化学結合状態を反映した形状を示します(図5)。このスペクトル形状の違いを利用すれば、化学結合状態の異なる同一元素の分布をマップとして表示すること、化学状態マッピングができます(図6)。ppmの微量のホウ素や窒素などの検出、定量も可能となっています。これまで、Li-K、Be-K、B-K、C-K、N-K、O-K、F-K、Mg-L、Al-L、Si-LおよびP-L発光スペクトルについて、かなりの観察例を収集してきました。デバイス、電池などの分野での応用が進展し、これまでのEDSあるいはWDSでは得られなかったような有用な知見に基づく物質、材料の特性に関する基礎的理解に資するばかりでなく、特に化学結合状態がEPMA利用のルーチンで分析できる特性が実用的な材料の開発、評価、検査などへの応用に利用されることが期待されます。ついては、島津製作所が供給します。eVの違いを可視化し、化学状態マップが得られた。結晶の基底状態において電子に占有される準位の中で、最もエネルギーが高いものをフェルミ準位という。基底状態ではその準位より上には電子は存在しない。その準位をフェルミ端部と云い、光電子分光やエネルギー損失分光でもその端部の電子分布観察により化学結合状態を議論したりする。間隔を不等間隔かつ曲線溝にすることで、スペクトル像の収差補正を可能にした回折格子。より収差補正に優れたものが製作できるようになっており、放射光ビームラインの回折格子分光器やプラズマ診断等の発光分光器に広く利用されている。kV程度に加速した電子を用いた透過電子顕微鏡。呼ばれ、一般的な装置とは異なる。加速したプローブ電子を試料に照射したとき照射領域から放出される特性X線を分光して、その部分に存在する元素の種類および存在量を測定する装置。microscope)と呼ばれる。細い電子プローブで試料表面を走査し、その電子プローブの照射点から放出される種々の電子、電磁波を検出して画像化する装置。電子プローブを作り走査する電子光学系、信号を検出する検出器、試料を保持する試料ステージ、画像を表示・記録するためのモニター・記録系、鏡筒や試料室を真空にするための真空排気系、これらの操作をするための操作系などから構成される。P/B比スペクトルのバックグラウンド強度(B)に対する、ピーク強度(P)の比。プライバシーポリシーご利用上の注意サイトマップ。