スパッタイオンポンプ真空ポンプ.comは、真空ポンプや、真空技術を利用した商品開発などをご紹介するポータルサイトです。スパッタイオンポンプ超・極高真空の発生に利用される代表的なポンプの一つです。陽極と陰極で構成されたセル(ポンプセル)に電場を印加する簡単な動作原理のため、駆動部がなく音や振動の発生がありません。ポンプ無しの単独で排気を行います。ポンプの構造上、機械的な可動部分が無いため、騒音や振動が起こることがありません。そのため、広く分析機器、加速器などの分野に利用されています。操作性に優れたポンプです。