20:32:27高速エッチング技術を用いて穴をあけた単結晶ダイヤモンド。共同研究により、ダイヤモンドの高精度な高速・異方性エッチング技術が開発された。ダイヤモンドがパワーデバイスとして期待されているかであるが、ダイヤモンドは極めて高い絶縁破壊電界(絶縁体に電圧をかけた際、絶縁状態が保てなくなる電界のこと)とキャリア移動度(固体中で電流に寄与するキャリア(電子、正孔)の動きやすさの指標のこと)、熱伝導性を有するからである。ダイヤモンドより硬い物質は存在するが、とにかく硬い。それ故に有用であるという部分もあるのだが、加工がとにかく難しいのが難点である。ダイヤモンドのエッチングによる加工には、従来の方法としてはプラズマプロセスによるものしか存在しなかった。これは時間がかかる上にプラズマダメージが形成されてデバイス特性が悪化するという問題があった。そこで今回、研究グループは、プラズマを用いないニッケルの炭素固溶反応によるダイヤモンドエッチングによる、高速・異方性エッチング技術を開発したのである。Reports」のオンライン版に掲載され、また、「ダイヤモンドの加工方法」として特許出願されている。