真空搬送ロボットCOVOT-6真空搬送ロボットCOVOT-6COVOT-6は独立した4本のアームを備え、高スループットを実現した真空搬送ロボットです。独立した4本のアームを装備し、基板2枚の同時入れ替え動作が可能。7軸のアクチュエータを持ち、4本のアームそれぞれでティーチングができます。AWS機能(基板位置の自動補正機能)を標準装備しています。別置き*取り付けアームおよびハンドにより異なります。データダウンロードカタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。ユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。