ミネベアの圧力計ミネベアの圧力計ミネベアミツミは次の様な圧力計/圧力センサーを生産・販売しています。PRO※差圧計測は圧力計を2個使用する事により対応可能です。技術とは・・・サファイア(Al2O3単結晶)基板上にシリコン薄膜を形成(エピタキシャル成長)させたものです。この薄膜を用いたシリコン半導体ひずみゲージは電気抵抗線その物がサファイア基板に原子的に結合しており、物理的、電気的に極めて安定した理想的なセンサを構成します。●高精度ダイアフラムの素材であるサファイアはアルミ酸化物の単結晶であり、応答性が高く、直線性とヒステリシス特性に極めて優れます。●高信頼性シリコン半導体ひずみゲージはサファイア基板に原子結合しているため、極めて安定した特性と高い信頼性を保ちます。シリコン基板はPN接合により電気的な絶縁を形成するので、120°C以上の高温においては接合部のリーク電流が増大し、センサーとしての使用が不可能になります。SOS技術におけるサファイア基板はそれ自体が高絶縁体であり、350°Cの高温環境下でもセンサーとしての使用が可能です。●水素ガス適合性サファイアは水素ガス適合性に優れ、透過・脆化の問題を解決します。感度部が直に接液し、SOSセンーサの優れた応答性を最大限に引き出す直圧式です。(アンプ内蔵の応答性は1kHz)。耐食性を目的とした隔壁ダイアフラムを設けておりませんので、酸、アルカリ、ハロゲンなど圧力媒体によってはご使用に適さない場合があります。I.C.)アンプを搭載し、温度影響が少なく、耐ノイズに優れた高機能型の圧力計です。(ダイアフラム)は圧力導入口と削り出し一体構造であり、優れた耐疲労性を維持します。外来ノイズ成分などに対し、極めて影響を受け難い特性を有します。上記の圧力計と同様です。応答性は別置きのアンプ(CSA-522)との接続時には、25kHzとなります。各種圧力計を提供します。受圧部には自己温度補償ゲージを使用しています。測定中に温度変化が生じても殆どその影響を受けることなく、正確な圧力を検出することが出来ます。最小1MPaの低圧力用から最大500MPaの高圧力用まで各種取り揃えており、用途に最も適したセンサをお選び頂けます。金属ダイアフラムの固有振動数に応じて、動的圧力現象に忠実に追従します。(応答性は固有振動数の1/3を目安にします。