自動化されたX線ウェーハー検査Brukerは、薄膜計測のための世界で最も先進的かつ非破壊的なX線技術ソリューションを提供しています。当社のキャラクタリゼーションソリューションは、ロジックとメモリの両方の処理の全範囲をカバーします。Brukerは、基板欠陥を特定し、前工程においてepi膜やhigh-k誘電体をコントロールする専用システムと、金属膜やウェーハレベルのパッケージングバンプを解析する専用の計測装置を備えています。