PLDの概要とパスカル製PLDの特長CMPスラリーチューブ洗浄剤YS-200YS-200は、CMPスラリーのチューブ内の堆積物を分散剤とビーズの作用で効率良く除去します。優れた浸透力・分散力チューブ内壁のスラリー堆積物にスムーズに浸透し、堆積物を内部から破壊・剥離させます。ビーズによる強力な物理洗浄力チューブ内壁に強固に付着した堆積物をビーズがアタックこれを破壊します。ビーズはチューブ素材を傷めない軽くて軟らかい樹脂で作られており、すすぎ洗浄で簡単に流脱します。YS-200半導体の性質に影響を及ばすアルカリ金属を排除した、クリーンな洗浄剤です。分散剤は高い生分解性を有しており、生物処理や凝集処理によつて容易に分解・除去されます。酸やアルカリを使つてないので作業者や装置に対して安全な中性洗浄剤です。すすぎ時間の大巾な短縮により、結果としてCMPマシンのダウンタイムを短縮します。茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。関連技術情報3件を掲載しました。