Systems)は、機械要素部品、センサー、アクチュエーター、電子回路を微細加工技術によって集積化したものである。1960年代から研究が始まり、現在では自動車に搭載された加速度センサーや、プロジェクターに使われているミラーデバイスなど多くの製品に組み込まれている。インクジェットプリンタや超音波モーターに使われているMEMS素子を使った圧電アクチュエーターは小さくかつ高速で動作するため、図14のような装置が評価試験で使われる。MEMS素子の駆動はファンクションジェネレーターとバイポーラ電源によって行い、MEMS素子の挙動はレーザー変位計と顕微鏡を使って観測される。携帯電話機やPCなどで使われている効率のよいデジタルアンプのことをD級アンプという。アンプの入力はアナログ波形をPWM変調したものであるため、ファンクションジェネレーターのPWM変調機能を使って評価信号波形が作れる。図15にはD級アンプの駆動評価回路を示す。図15:D級アンプの駆動インバーターなどもPWM変調を使ってモータなどの駆動波形を作るため、同様にして駆動回路の評価環境を構築できる。LLC.ITmediaはアイティメディア株式会社の登録商標です。