リンクお問い合わせウェハー洗浄装置ウェハーを自動又は手動にて洗浄する装置です。下記項目にて、お客様のご要望に応じた装置を製作します。※下記の限りではありません。その他のご要望がございましたら、ご相談下さい。使用薬液に応じた設計をします。一覧に戻るキャリア洗浄装置キャリアを自動又は手動にて洗浄する装置です。パーツ治具を洗浄する装置です。一般的な化学エッチングあるいは試料の洗浄をします。一覧に戻る薬液供給ユニットタンク自動切り替え機能付きです。供給機構は、ポンプ又はN2加圧式を選択できます。一覧に戻るPCモニタリングシステムPCにてレシピ、装置パラメータ、LOT履歴、アラーム履歴等を管理します。CIM通信を行い、情報の共有化が可能です。お客様の仕様に応じた設計をします。クリーニング、機器点検、惣および配管点検、修理等を行います。制御機器の生産中止品などを新しい機器(代替品)にリニューアルします。一覧に戻るPLCプログラム設計お客様の仕様に応じた設計をします。etc.一覧に戻るタッチパネル設計お客様の仕様に応じた設計をします。etc.一覧に戻る制御盤制作お客様の仕様に応じた制作をします。etc.一覧に戻る機内配線工事お客様の仕様に応じた配線をします。装置出荷に伴う、解体/復旧作業も可能です。一覧に戻るデバッグ/ランニング配線工事完了後のIOチェック~動作確認完了まで行います。エンドユーザーでの立上げ作業も可能です。プラント設備など、各種FAの設計・開発に関するご依頼、お問い合わせは下記まで。