製品を取扱っており各メーカーは非常にユニーク且つ特徴のある製品を製造しています。半導体産業においてはパターンの微細化が進んでおり、それに伴い洗浄効果が重要視されています。世界中の半導体ウェットプロセスのラインで使用されています。TREBOR社はノンメタルダイアフラムポンプにおいて常に業界をリードしています。弊社は海外の最先端技術を応用した製品をいち早く紹介し、皆様のお役に立てる様に活動しています。Infoトレバー社Tシリーズは、同社の高いポンプ技術と革新的なデザインが集約された、高純度薬液移送に最適なエア駆動式二重ダイヤフラムケミカルポンプで、特許出願中のノンセンタリングマグネティックシャトルシステム、特殊チェックアセンブリ、リブレース可能シャフトブッシングを採用しています。新規外部モジュラーコントローラと合わせて使用するよう設計されており、制御様式が異なるポンプ間の互換性を実現しました。使い易さの向上、メンテナンスコストの削減、ポンプ寿命の向上を実現したイノベーション製品です。Info高純度薬液の加熱において、IMTEC社のACUHEAT®インラインヒーターは性能・信頼性を高めています。独自開発のパワーモジュレータにより、薬液の吸収熱量を最大化するように制御します。これにより、さまざまな条件でエネルギー損失を抑え、昇温時間を最小化することができます。顧客の多様なアプリケーションに対応するため、容易に統合可能な広範囲な標準モデルを提供します。Info石英スタティックバスは190°Cまで昇温可能な高純度石英バスになります。プロセス温度制御は熱電対よりも制度と安定の良いRTD(白金測温抵抗体)を使用。どれをとっても他社に類をみない業界でも認められた石英バスになります。InfoTREBOR社のIC石英インラインケミカルヒーターは、顧客が必要とする非常に高い清浄度と、顧客が求める信頼性を備えています。ICヒーターの流路は滑らかで粒子が滞留することがなく、その構造全体にGE214石英、PTFE、PFAを使用しています。そのため、あらゆる非燃焼化学物質(フッ素水素と水酸化カリウムを除く)に適合しています。外装は互換性を持ち、腐食や変色に強いPFAを使用しています。重要なポイントは、投込タイプのヒーターと異なり、チューブ外面の薄膜ヒーターエレメントが故障しても金属イオンによる汚染のリスクがないことであり、さらにシンプルさと柔軟性を持っています。ヒーターモジュール化されているため、並列または直列に接続することができます。顧客のニーズにあわせるため複数の電圧が容易され、継手も各種オプションから選択でるます。TREBOR社の特許シール技術は、薬液のリークを防ぐだけでなく、壊れやすい石英継手の破損の危険性を取り除きます。Oリングの保守や交換の必要のありません。InfoUFシリーズヒーターは、他社に類の無い製品です。プロセス制御を実現します。特許取得済みのフレキシブル加熱技術により、限られたスペースにも設置することができます。本UFシリーズヒーターは、既存のPFA薬液路をフレキシブルなインラインシステムへと進化させたことにより、使用場所を選ばず、既存の薬液供給装置に容易に組み込むことが可能です。本UFシリーズヒーターはまた、液体、気体のいずれかにでも対応可能です。ゼロ設計、カスタマイズ設定の実現により、使用環境を問わず理想的なソリューションを提供します。