昨今、スマートフォンを始めとしたタブレット型端末がヒットしており、タッチパネルの需要が飛躍的に伸びております。タッチパネルには欠かせない透明導電フィルムの生産性向上へFSAを提案いたします。ITOフィルム工程フローFSAは適度な耐熱性を備えており、各種熱工程においてITOフィルムを護ります。ITO成膜工程ITOスパッタリング120°C〜140°Cの高熱真空内で、高電圧によりイオン化されたガスをターゲット材にぶつけ、フィルム表層にITOを成膜します。エッチング処理ITOフィルムを、露光→現像→エッチングといった工程を経て、導電回路を形成します。各工程で、不要部分は薬液により除去されます。端子電極として、銀ペーストをスクリーン印刷で形成。140°C〜150°Cの温度で乾燥します。