ドライコーティングプロセスにおける品質と生産性を向上することができます。HORIBAは各プロセスに最適なソリューションを提案いたします。プラズマ発光状態を計測し、スパッタ装置への導入ガス流量を自動的に制御します。チャンバ内の微量ガスを計測。常にベストなプロセス条件になるようモニタリングします。クリックすると、関連製品モデル一覧をご覧いただけます。Series多様な通信方式と、ワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。D500差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。RU-1000プラズマ発光強度をセンサーで捉え独自のアルゴリズムにより自社製高速応答マスフローコントローラに適切な反応性ガス流量の指示を行い金属モードに近い成膜速度の向上と共に安定な成膜を実現します。アクセシビリティサイトマップ。