(イオン注入・CVD・エッチング等)から排気されるガス反応生成物(微粉体)を除去する装置です。イオン注入やCVD装置から排出される1μm以下の反応生成物をうず流旋回吸着と高機能マグネットエレメントにより完全にシャットアウトします。本装置はエレメントの圧力損失がほとんどなく、真空ポンプの前段と後段の両方に使え、既存のフィルターでは除去できない微粉体をたやすく処理する画期的な粉体トラップです。大幅なメンテナンスの工数削減と生産性の向上が約束されます。排ガス中の反応生成物(微粉体)を除去するパウダー除去トラップです。構造はうず流旋回吸着タイプ、マグネットエレメントタイプ(トラパックエレメント)と2つを組み合わせたコンビネーションタイプの3種類があります。コンビネーションタイプはエッチング装置やCVD装置から排出されるサブミクロンの微粉体を完全にシャットアウトします。生産性の向上エキゾーストラインのメンテナンスの。