本機械は、通常キャリア、倍ピッチキャリア、4倍ピッチキャリアに搭載されたφ8インチウェハのミクロ検査及びマクロ検査を行う装置です。ミクロ検査では、顕微鏡の接眼レンズによる観察からディスプレイでの観察へ切り替えが出来ます。マクロ検査では、ジョイスティックによりウェハ傾きを自在に操作いただけます。・オートフォーカス付き顕微鏡を搭載し、レシピ動作による多点観察が可能です。厚さ100μm~1000μm、そりが最大13mmまでのウェハの搬送が可能です。・オプションでHOST通信も可能です。・ウェハサイズ等、仕様変更もご相談により可能です。・MWL-02型よりスペックアップを実現した装置で他社同機能装置よりもコストパフォーマンスに優れております。