管理に最適なPIDガスモニタ。測定レベル:0ppb〜10,000ppm。30m吸引の効力ポンプを内蔵。【F40】は、CMOUNTを搭載した顕微鏡に接続することで微小領域の膜厚測定が行えるシステム。モニタ視野範囲や測定スポットサイズは、使用する対物レンズの倍率で決まり、光源は顕微鏡搭載のランプを使用。20nm~120μmに対応。【Profilm3D】は、光干渉方式の特長を生かした高性能な非接触3次元表面形状粗さ測定システム。簡単で、瞬時にソフトウェアに測定結果が表示され、測定者にとってストレスのないスピーディーな測定を実現。筐体はとても軽くてコンパクトで移動も容易、設置場所を選ばない。3nm~250μmの広範囲な膜厚測定に対応。【F50】は、自動かつ高速で膜厚の測定を行い、膜厚ムラを視覚的に表現できるシステム。測定したい箇所を座標で簡単に指示でき、データ管理も容易。膜厚マッピングをスピーディーに行える。操作は極めて簡単で、瞬時に膜厚を測定することが可能。3nm~250μmの広範囲な膜厚測定に対応。1412iは、光音響分光法のガスモニタ。約40種類の光学分光フィルタから選択可能。