多彩なイメージング能力を装備。複数の二次電子信号や反射電子信号が同時に取得でき、これまでより短い時間で多くの情報を得られるようになりました。nAの照射電流は、各種マイクロアナリシスに対応。電流値が高いため、分析能力も強化されています。★本年6月には、新型のハイスピードEBSDによる解析オプションを追加します。詳しい内容をご希望の方は、下記からお問い合わせ下さい。UD/MD/LDの各検出器での同時取得データ事例UD/MD/LD※の各検出器での同一条件観察結果です。kV)UDでは表面微細形状が、MDでは表面の有機物被覆状態が、LDでは観察対象の全体的な凹凸情報がそれぞれ同時に取得できます。同じ条件下での観察において、情報取得の最大化を図ることができます。mmサイズの試料を挿入できます。mmの大型タイプで重量は最大2kgまで搭載可能。6inchのウエハーなど大型の試料でも素早く測定できる大型試料室で、多種多様な観察・分析に対応します。