SPMのプローブと,レジストを塗ったSi基板の間に電圧を印加し,プローブからのEB照射で局所的に露光する。基本的な考え方は従来からあったが,EB照射量の制御が難しく,複雑なパターンを露光できなかった。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。