Corp.が開発した。EUV露光を実用化する上で,高品質なマスクを開発することが最も大きな課題になっている。KrFエキシマ・レーザーなどの光露光技術では,光を透過させる透過型マスクを採用している。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。