世界に先駆けて45nm(hp65)技術を開発した東芝は,今後も1.5年/世代のペースで微細化を追求し続けることに迷いはない。最先端技術を生かすLSI製品が具体的に存在するためである。微細化の限界が叫ばれる中,数々の技術課題にどう立ち向かっていくのか。同社のプロセス・デバイス開発の責任者である各務正一氏に聞いた。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。