「HALCA」技術を導入へ大量生産ラインでの効果を検証この2月に竣工した東芝大分工場の300mmウエーハ新棟に,「HALCA」の技術が入ることが明らかになった(図1,図2)。HALCAの技術が量産ラインに導入されるのは今回が初めてとなる。HALCAとは多品種少量生産を目指した官民共同のプロジェクトである。1台の装置で複数のプロセスに対応する多機能装置などを駆使し,少ない投資額で効率的なLSI生産を実現することを目指していた注1)。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。