Memory次世代露光は液浸に決まり次世代の露光技術が,液浸ArFエキシマ・レーザー露光にほぼ固まった。少なくともハーフピッチ(hp)65nmへの導入は「ほぼ確定的」と多くの露光技術者が指摘している。LSI設計に工夫を施せばhp45nmへの導入も可能とされている。ほんの1年前までは,液浸技術の実現を疑問視する露光技術者がほとんどだった。ここへ来て技術的な課題が整理され,解決の方向性が見えてきた。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。