温度の立ち上がりが早く、処理速度は格段!ランプアニールも可能。RHL-E/VHT/Pシリーズ赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。RTP-6低コストで80°C/sの高速アニールが可能。角までの熱処理を可能とした卓上型ランプ加熱装置です。MILA-5000シリーズMILA-5000シリーズは赤外線ゴールドイメージ炉の特長である高速加熱・冷却、クリーン加熱が行なえます。MILA-700AR冷却水を使わない卓上型ランプ加熱装置。QHCシリーズ/VHCシリーズ太陽電池/化合物半導体等のプロセス開発や様々なアプリケーションとセットアップが可能。