300mmラインの完全枚葉化で実現300mmウエーハを採用し,これに完全枚葉化と完全自動化を組み合わせた量産ラインを構築した(図7)。既存のSiファウンドリと比較して,ウエーハの投入からプロセス完了までのTATを1/2〜1/3に短縮している。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。