凹凸の度合いを示す指標の一つ。平面形状を平行な2平面で挟んだとき、平行2平面の間隔が最小となる場合の2平面の間隔で表される。平面度が小さいほどより平らな表面と言える。高精度に角度変化を測定する装置。測定光ビームを出射して対象表面にあて、対象表面の角度変化に伴う反射光ビームの位置変化を検出して、角度変化を測定する。[参照元へ戻る]◆ペンタゴンミラー45度向い合せに設置された一対の鏡。入射した光線は、2回反射することで90度方向が変わって反射される。入射角が変わっても、反射光は必ず90度方向が変わる。そのため、今回開発した装置では、ペンタゴンミラーの移動に伴う運動誤差が生じない。[参照元へ戻る]◆運動誤差ペンタゴンミラーの直線移動に用いる運動機構(開発装置ではエアスライドを使用)に起因する並進(真直)誤差および回転(ピッチング、ヨーイング、ローリング)誤差。回転誤差が測定結果に加わる。試料表面の角度分布を積分することでライン形状が得られる。直線上の角度分布は、オートコリメーターの光ビームを試料表面に当て、ペンタゴンミラーを直線移動させることで得られる。試料表面の角度分布を積分することで円周形状が得られる。円周上の角度分布は、オートコリメーターの光ビームを試料表面に当て、試料を回転させることで得られる。