これは、高精度な平面基板の測定・評価技術がなく、「測れないものは造れない」という状態であったためである。nm)の平面度を有する高精度な大口径平面基板の製造技術開発が期待される。製造現場で多く用いられる既存のフィゾー干渉計の参照平面を高精度平面基板に置き換えるだけで、その測定精度が向上する。今回開発した形状測定装置(3D-SDP)は、平面形状だけに限らず曲面形状も測定できるため、ミラーの絶対曲率測定などへの応用も期待できる。nmの平面度を標準供給している。nmの平面度測定サービスを開始する予定である。高精度に磨かれた基準平面と、測定対象を互いに向かい合わせた配置で、光の干渉現象を利用して測定対象の平面形状を測定する技法。両者が共に理想的な平面形状を持つ場合は、まっすぐな干渉縞が観察されるが、いずれかが理想的な平面からずれていると曲がった干渉縞が観察される。したがって干渉縞の曲がり具合から測定対象の平面形状がわかる。ほとんどの場合、基準平面板の平面精度によって装置の測定精度が決まる。[参照元へ戻る]◆λ/20平面度の表記方法の一つ。