独占するシリコンウエハのアウトガス捕集装置-特長-シリコンウエハの8インチ及び6インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます(SW-8400III)シリコンウエハの12インチ表面の揮発性成分(有機汚染物質)の捕集ができます(sw-12400III)捕集管トラップ方式採用のため、デッドボリュームがなく、微量成分検出が可能ですオール石英チャンバー方式と異なり、確実に表面からのみの発生ガスを捕集し、裏面からの発生ガスは真空ポンプにより全量放出します。ウエハをダイレクトに加熱、最高温度は500°Cを実現しました(焼き出し時)シーケンスコントロール(タッチパネル)を採用。操作が容易になりましたアウトガスはPAT(内容積10ml、テナックスGR吸着剤入り)による捕集が標準です。(捕集時)が可能です-石英オーブン-シリコンウエハ(SW)の表面を全面石英板で覆い、表面からのアウトガスだけを捕集する方法です。パージガスは、プレヒートラインを経由した後、オーブンの天上に釣鐘状に固定された石英天板(釣鐘形石英天板)の外壁に沿って流れ、SW表面を外周から中心に向かって導かれます。SWの裏面は真空ポンプにより吸引することで、SWの裏面で発生したガスを確実に排出することができます。042-557-1892HOMEプライバシーポリシーサイトマップお問い合わせ閲覧推奨環境ページトップへ。