レーザードップラー原理を応用して、搬送されている測定ターゲットに照射したレーザの反射光から実際の搬送速度を測定します。ヘテロダイン検出法をベースとする高性能な検出回路を搭載しており、この回路で光のドップラーシフトを計測します。その変化、そして静止状態まで検出できます。わずかな変位や速度変化も探知できる優れた測定精度によって、より厳密なプロセス制御が可能になります。差分ドップラー法と呼ばれる原理に基づいて動作します。本のビームを交差させます。装置は、測定する表面に対して垂直に設置し、流れる速度に応じて測定距離を調整します。本のレーザビームの周波数はドップラーシフトされます。このとき、上流にあるビームの周波数は低くシフトし、下流にあるビームの周波数は高くシフトします。本のレーザビームは測定空間で重なり、明部と暗部で構成される干渉縞をもつ測定空間を形成します。φ)粒子が干渉縞を通り抜けるとき、レーザの散乱光の強さが変調されます。