技術概要イオン化装置10は、誘電体(または絶縁体)(たとえば、セラミック、ガラス等)よりなる筒状体13と、この筒状体13のやや先端に近い箇所の外周面に接して設けられた円環状(円筒状)の第1の電極11と、筒状体13の内部の中心軸線上に、筒状体13の内周面とは間隔をおいて配置されかつ支持部材により支持された第2の電極すなわち針状電極12と、を備え、第2の電極12が試料ガス供給用または生成したイオン導入用の第2の筒状体であり、先端が開口しているものである。この装置において、第2の電極12が試料ガス供給のためのキャピラリーであり、その後端から試料ガスが供給される。第2の電極12がイオン導入用のキャピラリーであり、このキャピラリーが質量分析装置の内部と連通している。第2の電極12が、絶縁性の内筒体の表面に、少なくとも第1の電極11の位置から先端までの間に金属部が形成されたものである。第2の電極12の先端に近接してその先端外方に配置されたメッシュ電極を備えたものである。他にイオン化分析装置、イオン化方法、イオン化分析方法の発明あり。シーズ従来のイオン化分析方法および装置においては、試料をバリヤー放電により生じるプラズマ・トーチ(非平衡プラズマ)に直接に晒すので、プラズマ中の高エネルギー電子によって試料そのものの分解、試料から脱離してイオン化された分子の分解、分解により生じたフラグメント・イオンの重合等が起こるので、必ずしも正確な分析ができない場合があるという問題がある。そこで、試料の分解やイオンの分解または重合が生じ難く正確な分析が可能となるイオン化方法および装置、イオン化分析方法および装置を提供する。筒状体の先端外方に生起している熱平衡プラズマ(帯電気流)に試料を晒すことにより、試料から脱離した粒子(原子、分子)等がイオン化されるので、正確でかつ高感度のイオン化分析が可能となる。第1の電極と第2の電極の間に直流電圧を印加し、この直流電圧の極性に応じて正イオン・リッチまたは負イオン・リッチな帯電気流を生成することにより、試料から脱離した粒子(原子、分子)の選択的な正イオン化または負イオン化が可能となる。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。