開閉動作が可能なバタフライバルブです。低価格で自動圧力制御ができます。最小コンダクタンスを可能とする弁Oリング付き締め代O仕様の対応も可能です。NW25サイズより対応可能です。仕様も対応可能です)特徴ローコスト対応バルブMBV-SDII-M4-ARJシリーズは、弁体Oリングが付いていないコンダクタンス制御専用のモータ駆動バタフライバルブです。弁体の駆動源には汎用性の高い三菱電機製のサーボモータを使用しており、弁体を全閉、全開およびそれ以外の任意のポジションにおいて停止・保持させることができます。バルブの開口面積を多段階に変化させることが可能となり、真空容器内の一定圧力保持およびバルブの前後の圧力可変や、排気コンダクタンスの可変など幅広い用途に使用できます。中間停止のポジションは、あらかじめパソコンソフトやサーボアンプ本体で設定し、最大13ポジションまで記憶させておくことができます。PLCなどの上位システムから信号を送ることにより、設定したポジションに再現性良く停止します。オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラをFPCシリーズと組み合わせることにより、自動圧力制御を始め、多彩な制御が可能になります。接ガス部材質SUS304※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。※バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。※オプション品につきましては、別紙「マルチポジション用オプションリスト」にてご確認下さい。応じたモータへの変更もご相談させていただきます。*オプションのデュアル圧力制御コントローラを接続することで、APCとしても使用可能です。附属書保守用フランジに準拠したフランジです。dimensionsに準拠したフランジです。flangesに準拠したフランジです。CF40には、漏れ探し溝はありません。NW25サイズについては、全閉可能なフルクローズタイプを準備しています。取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。サーボアンプにポジションを設定して任意のポジションへバルブ弁体を動作させます。1.ENCケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)(注1)バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。10m注1.(負荷引出し/反負荷引出し)2.MOT電源ケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)(注1)バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。10m*シールドケーブルではありません。3.電磁ブレーキケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)(注1)電磁ブレーキ付サーボモータ用ケーブルです。10m*シールドケーブルではありません。Mケーブル(CN1用50P)(注2)サーボアンプへリモート入出力するためのケーブルです。Mケーブル(CN1用50P)、中継端子台(MR-TB50)(注2)サーボアンプへリモート入出力するための中継ケーブルおよび端子台です。50P5.サーボ支援ソフトウェアサーボアンプにポジション設定するためのソフトウェアです。英語版6.通信ケーブルPCとサーボアンプを接続するためのUSBケーブルです。Mケーブルは、4-1または4-2が必要となります。製品カタログ製品カタログ(PDF)。