MEX-LD-M4-ARJシリーズ当社オリジナルの駆動方式により、コンパクトでコストパフォーマンスに優れたゲートバルブです。低価格で自動圧力制御ができます。モータ位置を選択できます。(3位置)選べる3つのタイプMEX-LD-M4-RMEX-LD-M4-LMEX-LD-M4-Fフルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来ます。高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。全閉・全開の他、最大13ポジションの任意の位置に停止させることができます。ポジショニング設定は、オプションのサーボ支援ソフトウェアで簡単に行えます。制御用オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラを追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。フォトセンサを装備できます。特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。オプション品につきましては、別紙「マルチポジション用オプションリスト」にてご確認下さい。応じたモータへの変更もご相談させていただきます。真空装置用フランジに準拠したフランジです。)内はモータ位置タイプが入ります。口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。dimensionsに準拠したフランジです。)内はモータ位置タイプが入ります。口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。flanges-Dimensionsに準拠したフランジです。)内はモータ位置タイプが入ります。口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。サーボアンプにポジションを設定して任意のポジションへバルブ弁体を動作させます。1.ENCケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)(注1)バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。10m注1.(負荷引出し/反負荷引出し)2.MOT電源ケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)(注1)バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。10m*シールドケーブルではありません。3.電磁ブレーキケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)(注1)電磁ブレーキ付サーボモータ用ケーブルです。10m*シールドケーブルではありません。Mケーブル(CN1用50P)(注2)サーボアンプへリモート入出力するためのケーブルです。Mケーブル(CN1用50P)、中継端子台(MR-TB50)(注2)サーボアンプへリモート入出力するための中継ケーブルおよび端子台です。50P5.サーボ支援ソフトウェアサーボアンプにポジション設定するためのソフトウェアです。英語版6.通信ケーブルPCとサーボアンプを接続するためのUSBケーブルです。Mケーブルは、4-1または4-2が必要となります。製品カタログ製品カタログ(PDF)。