50Hz)の幅広い排気速度レンジから選択可能です。(より詳細な情報はこちらの10ページ以降をご覧ください。1.5シングルステージ(1段引き)タイプの小排気速度オイル・ロータリーベーンポンプです。詳細な情報はこちらの4ページ以降をご覧ください。専用全合成オイルを使用し、一旦取り込んだヘリウムを吸気側へ戻しにくい設計になっています。L300は、5E-13Pa.m3/s以下の実効感度(世界最高検出感度)を得ています。≒167l/分~20000l/分)粗引き、及び、ルーツポンプや他の高真空ポンプのバックポンプ用途に開発された、比較的安価な、静かで振動の少ないタフなポンプです。049(252)6355株式会社ヴィティーエス。