弊社はトータルガスマネジメントのコンセプトに基づき、ガスの入り口から出口までお客様のニーズに合わせた製品とシステムを国内外に提供しております。センサの実機展示もございます。熱処理性能を実現しました。当社“Ailesic”(エールシック)シリーズ熱処理装置は、SiCパワーデバイスの性能を飛躍的に向上させるとともに安定した量産に貢献します。漏液センサ/液種判別センサ光学式の漏液センサで僅かな液体の漏れを確実に検知します。復旧作業は簡単に拭くだけでメンテナンス性に優れます。水と薬液、水と油等)、また光ファイバを用いる事で防爆エリアでの使用も可能となります。漏液の検知だけでなく、配管内の液種の判別、槽のレベル管理等、新たな用途での使用が期待できます。・防爆エリア対応He/Ar回収装置アルゴンを始めとする希ガス(He、Ne、Xe)を高効率に回収・精製するガス回収装置『ArgonØ』を展示します。コンパクトな為既設装置に容易に敷設でき、生産コストの削減につながります。エレクトロニクス産業に必要な特殊材料ガスを安全・安定に供給することを目的として開発された設備です。使用するガスの性質や消費量、ガスメーカーの供給体制を含めた検討材料により適切な供給形態を検討し、提案することが可能です。代表される高純度品質へのニーズに対して、部品や配管に至るまで徹底的に材料を厳選し、高品質ガスの供給を実現しています。毒性や爆発性など危険性の強いガスの安全供給を目指し、各々のガス物性に合わせて設計しています。想定される様々なトラブルに対しても豊富な経験に基いた安定供給設計をしています。コントロールによる安定供給を実現します。・ロードセル、超音波式センサーによる液量管理により、自動切替が可能。つの薬液用タンクを収納し、受入タンクの液面と圧力を一定に保つよう、通いタンクより補充することが可能。<システム特徴>最適化された温調システムと圧力制御システムと液面管理システムの組み合わせにより、送気ガス濃度を安定化。