4,5の間に交流電源3を印加し、流路6の流体中の菌9を誘電泳動により集める(菌濃縮)。菌濃縮が所定濃度に達した時、菌濃縮検知部13より検知信号を発し、パルス電源12を電極10と電極4,5に印加する。菌は集めて殺すし、流路6のギャップ間隔Gを小さく作っておけばパルス電圧は低くて済むので、殺菌効率が良い。この場合、流路6のギャップ間隔Gは、殺菌しようとしている流体が流れるのを妨げない範囲で、できるだけ小さく製作することが望ましい(例えば、100μm以下等)。ガラス等の絶縁部材である基盤2の表面に、平板状の電極4,5を並べて形成する。絶縁部材のスペーサ7,8を介し、電極4,5に対向するよう平板状の電極10を形成する。流路形成体11は断面U字型とされ、電極10及びスペーサ7,8を外側から覆うと共に、電極4,5が形成された基盤2との間に流路6を形成する。この流路形成体11も絶縁部材で作る。シーズ流体中に散在している病原菌を誘電泳動を利用して集め、集めた病原菌に対し電界の印加やラジカルの散布等の物理的破壊措置を講ずる、少ないエネルギーで効率よく殺菌する菌濃縮殺菌装置および方法を提供する。電界印加のためにパルス電圧を使用する場合でも、放電ギャップを微小にすれば低電圧のパルスで済むので、パルス放電の音は小さく、耳障りな騒音を周辺に撒き散らすこともない。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。