関し、電源網を工夫することによって、コイル間の誘導結合度の改善と電源線における電源電圧降下の抑制を両立する。基板上に設けた多層配線構造における同一の水平位置に形成され、所定の間隔で配置された複数のコイルからなる第1のコイルアレイの全てのコイル内部を前記多層配線構造の積層方向から見てX方向を通過する第1の電源配線群と、Y方向を通過する第2の電源配線群を備えた電源網を設け、前記第1の電源配線群の少なくとも一部と前記第2の電源配線群の少なくとも一部により、前記コイルの周辺を囲む閉回路を形成する。おける誘導結合を妨げない電源網の構成に関するものである。背景技術[0002]磁界は半導体チップを貫通する。半導体チップ上の配線を巻いて作った送信用コイルと受信用コイルを近接配置して、信号に応じて送信コイルに流れる電流を変化させると、それに伴いコイル周辺の磁界が変化する。この時、受信コイルに電圧信号が誘起され、受信回路を介して信号を復元する。このような、誘導結合を用いたデータ通信は積層チップ間のデジタル信号接続に用いられる。[0003]誘導結合を用いたデータ通信は、シリコン貫通ビア(TSV)を用いた積層チップ間接続などの従来の機械式接続に比べて、集積回路による電子式接続なので、製造歩留まりが高くコストが低いという特長がある。信号となる電磁界はトランジスタを設けた半導体基板を貫通できるのでコイル同士の接続場所の制約が少なく通信チャネルを増やして高速にできる或いは静電保護回路が要らないので低電力にできるなどの利点を有する。[0004]しかし、コイルの近傍に金属板があると、電磁誘導効果により磁界の変化を打ち消す方向に金属内で渦状の誘導電流(渦電流)が生じ、その結果コイル間の誘導結合が弱くなる。金属板の抵抗が小さいほど渦電流の変化は大きくなり、周辺の磁界の変化を打ち消す力は強くなる。[0005]半導体チップに設けた送受信コイルは空芯なので、磁界の変化はコイルの辺の周辺で強く生じる。したがって、コイルの近傍に金属板があると、コイルの辺の近くにコイルの辺に沿って渦電流が流れる閉回路ができる。その経路の電気抵抗が低いほど、誘導結合が弱くなることが予想される。[0006]一方、半導体チップには電源配線が網目状に設置されることが多い。電源配線における電源電圧降下を抑えるためには電気抵抗を低くすれば良く、そのために、細目で低抵抗な電源網が設置されている。このように電源網とコイルの誘導結合は、電源電圧降下を改善するとコイルの誘導結合が劣化し、コイルの誘導結合を改善すると電源電圧降下が劣化するという相反関係にあり、両方の要求を両立させることが重要になる。[0007]そこで、本願発明者等は、電磁界シミュレーションによって詳細な検討を行い、さらにテストチップを設計、試作、実測して、電源網の電気抵抗とコイル間の誘導結合の関係を鋭意探求した(例えば、非特許文献1及び非特許文献2参照)。[0008]非特許文献1或いは非特許文献2に示しているように、コイルの辺に沿って渦電流が閉回路を流れると誘導結合は著しく低下し、渦電流が閉回路を流れないと誘導結合はほとんど低下しないことが確認された。図28に示すように、テストチップを用いた実験結果によれば、渦電流が流れる閉回路をコイルの辺から離すほどに、誘導結合の強さは回復することが確認された。図における符号Zは、送信コイルと受信コイルの間隔である。[0009]図28は、誘導結合度の渦電流が流れる閉回路とコイルの辺との間隔Xとコイルの辺長Dとの比に対する依存性の説明図である。流が流れると(X/D=0)、誘導結合度は20%程度(1/5程度)に低下する。コイルの辺からコイルの一辺の長さDの0.5倍離れたところを渦電流が流れると(X/D=0.5)、誘導結合度は50%程度(1/2程度)にまで回復することが分かる。発明が解決しようとする課題[0012]しかしながら、上述の非特許文献1或いは非特許文献2においては、コイルの誘導結合を改善する際に、どのようにして電源電圧降下の劣化を抑制するかについては具体的に検討がなされていない。おいて、コイル間の誘導結合度の改善と電源線における電源電圧降下の抑制を両立することを目的とする。よれば、電源網を工夫することによって、コイル間の誘導結合度の改善と電源線における電源電圧降下の抑制を両立することが可能になる。送受信コイル配置部のシンボル平面図である。[図2]コイルのシンボル表記の説明図である。[図3]電源線のシンボル表記の説明図である。[図4]コイルと電源線を組み合わせた場合のシンボル表記の説明図である。[図5]コイルアレイと電源線のシンボル表記の説明図である。[図6]コイルを流れる電流による磁界強度分布の説明図である。[図7]コイルの周辺に形成される渦電流の流れる閉回路の説明図である。[図8]誘導結合の電源線網とコイル辺の距離依存性の説明図である。[図10]渦電流の流れる閉回路の説明図である。