MSP-20UMこの装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。条件設定に従って一連のコーティング操作を自動で行うことが出来ます。不純物の混入を最小限にするバイパス排気システムや誤操作防止のインターロックが充実し、別途オプションで回り込み性能を向上させる傾斜回転機構をご用意しております。用途SEM観察試料の導電処理。その他、電極作成や酸化防止膜の作成等幅広い目的に使用します。