DPGシリーズDPGシリーズDPG-2およびDPG-4は2kWおよび4kW出力のスパッタリング用のDC電源です。高い制御精度により繰り返し再現性に優れ、より高い品質のプロセスを実現します。仕様データダウンロードカタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。ユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。