TWPsaシリーズPR日本随一、2500点の配管部品サテライト・ショールームがお台場に誕生。【TWPsaシリーズ】は、ウェハ、基板をチャンバーにセットするだけで、有機溶剤での剥離(洗浄)、リンス、乾燥までの一連動作を完了する枚葉式のセミオートウエット処理装置。チャンバー構造は同社の「TWPシリーズ」を踏襲。システムを採用している。1レシピ:10STEP×レシピ数:10PCPを保持(オプションにより増加可能)。YMD3】は、エアーモーターまたは電動モーターを駆動源とし、直進スプレーノズルを三次元回転させる高圧タンク洗浄ノズル。効率良くタンク内面全体をムラなくカバーする。