半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。赤外線画像の観測により、発熱分布(温度分布)の検出や、電流リーク箇所の同定が行えます。InSbHRカメラが搭載されており裏面観察時においても高解像度・高コントラストで細部に渡ってクリアなパターン像を得ることが可能です。発熱分布の時間依存性計測により、温度の時間的な広がりが観測できます。・本装置の利用は、講習を受講された方に限らせて頂きます。(講習を受講される場合は、別途講習料が必要となります。)パワーデバイスアナライザー(B1505A)をご使用の方は併せてご予約下さい。利用を検討される方はまず,「利用相談」にてお問い合わせ下さい。担当スタッフより回答いたします。0022室に入室するためのICカードが必要です。機器をご利用の際は、担当者にお申し出ください。利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。