2019に出展します。ご希望により展示に使用したインテグリスの革新的で高度なソリューションの詳細がご覧いただけます。(日本語)エッチングレートと堆積膜の電気的な完全性を維持するためのプラズマチャンバー部品のコーティングに関するピクトグラム。多層ハイブリッド技術があります。(日本語)インテグリスが、業界をリードする特殊配合薬品、CMPパッドコンディショナー、CMP後洗浄ブラシの開発において、総合的なアプローチを使用して高度な技術的課題をどのように解決しているかを説明するピクトグラム。Toolkit)ろ過の事実と誤解を分類し、フォトリソグラフィープロセスのパフォーマンスを低下させるばらつきを減らすための最適なソリューションを選択するために「リソグラフィー担当者向けツールキット」を使う方法を説明したピクトグラム。負担が増大しています。供給できるように設計されています。Purification)形状的に複雑化する半導体デバイスの製造におけるプロセスガス精製の重要性の高まりのピクトグラム。先端のガス精製で供給ガス中の複数の微量不純物を除去し、不純物のレベルを下げ、メンテナンスサイクルを維持するかを説明しています。して汚染されたウェーハが挙げられ、これは、ウェーハの歩留まりとデバイズ性能に大きな影響を与えます。このようなケースでは、ガス供給システムで性能が低下したガスフィルターを使用していることがその原因の1つとして考えられます。欠陥を減少させるためにガスのろ過について説明したピクトグラム。Reticles)輸送および繰り返し行われるリソグラフィのパターン形成、検査、および洗浄についてのピクトグラム。レチクルポッドが、レチクルのライフサイクル全体を通して、超清浄で安全な保管と構造の完全性をどのように保証するかを説明しています。ボトルシステムは、ガラスボトルに代わる安全で費用対効果の高い容器であることを説明したピクトグラム。技術など、革新的な負圧でのガス供給ソリューションのメーカーです。)半導体製造における材料清浄度の要件は、ますます厳しくなっており、薬液メーカーへの負担が増大しています。このピクトグラムでは、特に保管中や輸送中に汚染の影響を受けやすい薬液を、インテグリスの保管/輸送用ドラムと接続システムが、如何に出荷時と同じ清浄な状態で薬液を供給できるかを説明しています。Solutions)インテグリスは、人の介入を最小限に抑えた一貫したウェーハハンドリングのソリューションを提供します。通してウェーハの安全性、セキュリティ、純度を保護するように設計されていることを説明しています。