:日立ハイテクこのウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。(SNDM)によるドーパント解析ソリューションをテーマに、セミナーを開催いたします。長教授をお招きし、最新の技術情報についてご紹介いただきます。ナノ粒子計測ノウハウ、最新のAFM技術やアプリケーションについてもご紹介させていただきます。ポスターセッション会場を併設し、気軽に外部講師の先生方や弊社スタッフとのディスカッションを行う機会を設けております。奮ってご参加賜りますようご案内申し上げます。原則として、先着順とさせていただきます。お申し込みお申し込みフォームより、お願いいたします。0681-2が発行された。これによりJISにおける三次元表面性状パラメータが使用できることになった。装置の特長を活かした相補的な活用事例を紹介します。新モデル」について紹介いたします。実現できるのが理想的である。表面修飾基板キットを用いると、複数の表面修飾による相互作用が期待され、種々の微粒子に適応できる。AFM計測では、計測場所を特定するための予備計測が律速になる場合がある。SEM(走査型電子顕微鏡)で迅速に計測場所を決め、SEMとAFMでリンケージ計測して相補的な情報を得ることは、重要な計測手法となると期待される。これらの手法についての応用例を紹介する。同一箇所で測定し、それぞれのデータの相関評価を行うSEM/AFM相関顕微鏡手法(SÆMic.)を使用した座標リンケージによる電極腐食部位の分析や雰囲気遮断ホルダーによるイオンミリング加工後のLiイオン電池の分析などの事例をご紹介いたします。価関数性(コントラストリバーサル)も回避することができる.これらの特長は全てSNDMの群を抜いた高感度特性からきている.本講演ではSNDMによる半導体評価技術とその応用計測例について紹介する。康雄16:20~16:50特定箇所におけるキャリア分布観察技術の開発と展開SNDMやSCMといった容量顕微鏡では、FIB加工された試料の観察は困難であるとされていました。弊社はFIB加工試料に酸化処理を行うことでSNDM測定が可能になることを突き止めました。この成功の背景には東芝で培ったSPM(SSRM)技術があります。今回は東芝がこれまで関与したSPM関連技術と、FIB加工試料のSNDM事例をご紹介いたします。弊社ではこれまで環境制御型の高感度SNDM(HS-SNDMII)を製品化しており、1014レベルの低濃度観察はじめ吸着水影響のない高真空中SNDM技術を展開してきました。パワーデバイス等へ適用した事例を紹介します。FIB前処理による高真空中SSRMキャリア分布観察の試みについても紹介します。会場移動17:20~18:30ポスターセッション講演内容のポスターセッションを実施します。各講演者への質疑応答も個別で行えますので是非ご参加ください。演題、講演時間などにつきましては、予告なく変更することがあります。