東芝メモリ、岩手県北上市にNANDフラッシュ新工場建設へ東芝メモリ、岩手県北上市にNANDフラッシュ新工場建設へ●東芝は9月6日、子会社の東芝メモリの新たな製造拠点を岩手県北上市に設立すると発表した。●2018年の着工を目指して準備に取り掛かるが、具体的な建設計画や設備投資等については未定となっている。●エンタープライズ用サーバやデータセンタ向けを中心にNANDフラッシュの需要拡大が見込まれており、東芝は以前より四日市工場に加えて、新規拠点の検討を進めていた。●進出可能時期や優秀な人材確保等の観点から総合的に評価し、新規拠点を岩手県北上市の北上工業団地エリアに決定したという。用地拡張に関する調査や、自治体との調整などの準備作業を開始する。Digital社(WD)の子会社・米SanDisk社の参画については、別途協議を進めるという。東芝では現在四日市工場にて第6製造棟の建設を進めているが、こちらは単独で投資を行うことが発表されている(WDは投資の意思を表明)。1.繊維表面積が大きく、繊維間空隙数の多いナノファイバー繊維注5)(繊維直径700nm)を用いて不織布を作成し、スラリー(研磨剤)の吸込み・付着性を向上させました。ナノファイバーの繊維間で砥粒注6)をキャッチすることで、作用砥粒数が増加し研磨レートが向上しました。ナノファイバーは繊維表面積が大きいことから、大きなゼータ電位注7)をもつため、スラリー中の砥粒の凝集を抑制する効果もあり、表面粗さが向上(ウエハの表面がより滑らかになる)しました。(図1)2.高硬度樹脂を高密度に含浸する技術を確立しました。含浸させる樹脂として、既存樹脂(ウレタン)を用いた研磨パッドの他、次世代樹脂を用いた研磨パッドも開発しました。