ファインセラミックス事業部TOP製品情報チャンバー部品チャンバー部品チャンバー部品とは半導体製造装置の真空部品として当社品の採用が進んでいます。ウエハをクランプしたり、耐プラズマ用部品としてアルミナや炭化ケイ素(SiC)の使用が増えています。半導体の微細化や超高層化が進む中で、そのプロセスに対応できる材料をご提供することができます。目的・用途トレーシールドリングお問い合わせ特注サイズや形状も、1点から承ります。お気軽にお問い合わせください。