等のイオン濃度などの測光解析に用いられます。顕微測光装置は大型の専用機でしたが、現在は通常の顕微鏡に組込み可能なモジュールとなっています。その構成は、高感度フォトマルチプライヤとそのコントローラ、微小測光部位を限定する数種類のピンホールを内蔵した測光ユニット、測光部位を視野内で確認する測光鏡筒(または測光ファインダ)から成り立っています(図5-4)。濃度測定用として高速励起切換えユニットやダイクロイックミラーユニット等もあります。分光測光のためのモノクロメータ、二次元分布測光のためのオートスキャニングユニットが組合わせできるものも用意されています。行われ、モニタに表示されます。