ファインセラミックス事業部TOP製品多孔質チャック多孔質チャックチャックとは微細な孔で構成された多孔質セラミックスチャックです。多孔質セラミックスが開発されるまでは細かな穴を開けて薄いワークに対応してきましたが、その僅かな凹みが、フィルム、極薄ウエハの回路にダメージを与え、使用出来ない事が増えています。薄い板厚のワークやフィルム状ワークの吸着に適しています。樹脂多孔質では使用できない数百度の高温環境でもセラミックスならば耐えられます。ワーク形状や材質、取付ける装置、ご使用される環境に合わせたカスタム品を製作します。サイズや形状、ベース部分の材質など様々な仕様にお応えします。多孔質セラミックスチャックの吸着テスト従来品との歪み比較ゴムパッドタイプ多孔質パッドタイプ・ゴムパッドではワークが歪んでいますが、多孔質パッドはフラットな面で均一に吸着するためほとんど歪みが起きません。・穴の痕がつき難くなります。非接触浮上ステージガラス基板・ウエハやフィルム、電子部品が搬送装置との接触によるキズやコンタミの問題を解消!目の細かな多孔質セラミックス全面からエアを吹き出すことによって搬送品を非接触で浮上できます。応じて素材やサイズも対応いたします。テスト用にレンタルも可能です。・接着剤不使用のため、耐熱(600°C(大気))、対薬品性に優れます。・吸着部、本体ともにSiC接合品ですので、熱伝導率が良い(170.0W/(m・K))。・側面に吸着ポート(Rc1/8)が加工されています。従来品ある程度の吸着穴が必要で薄いウエハは凹みが発生してしまいます。多孔質ハンドウエハ吸着部分を多孔質で埋め込む事により、薄いウエハにダメージを与えない構造になっています。多孔質セラミックスハンド・チャック吸着比較実験お問い合わせ特注サイズや形状も、1点から承ります。お気軽にお問い合わせください。