バックアップ取っておくべきだった。仮想マシンを開くことができませんでした:この仮想マシンへのアクセス中に重大なエラーが発生しました。error構成ファイル:E:\centos64_i386_leon_mjpeg\centos64_i386_leon_mjpeg.vmx。(2014.1.1追記)あけましておめでとうございます。壊れたと思ってた、VMwareのデータだったが、よくよく状況見てみると、SDカード自体にファイルコピー出来なかったり、どうやらSDカードが怪しい。エラーチェックの「チェックする」でウィンドウを開き、ファイルシステムエラーを自動的に修復する不良セクターをスキャンし、回復するの両方にチェックをして実行した。64GBで30分くらいかかったかな。正常に終了、なるメッセージが出た。確かにSDカードにフォルダ作成など出来るようになった。VMware起動したら、無事に起動出来た。SDカードの方に問題があったという事だ。やり直しにならずに一安心。