0.15~1.5mL/min(nor)の超微小流量から350~3500mL/min(nor)の流量まで計測が可能です。精密な流量制御が可能です。流量計の入口側圧力および出口側圧力をご指示いただければ、最適なバルブを選定いたします。流量計の取り合い寸法(面間寸法)を115・130・145mmに設定、用途に応じて選択できます。従来品と比較して、幅寸法が3mm小さくなり、製品重量が約半分になりました。と平行した軸を持つプロペラで流速を測定しますので、熱線式や圧力式などにみられる他方向からの流入空気の影響がほぼありません。ラジエータへの垂直成分を的確にとらえます。低圧損プロペラによる圧力損失は、ラジエータの圧力損失と比較すると非常に小さく、約0.1kPa(20m/s測定時)程度です。電気ケーブル接続プロペラセンサと変換器間は電気ケーブルで接続しているため、曲げやねじれ、低温に強く、従来のガラス光ファイバケーブルよりも扱いが容易です。従来品8chに対して、RR5000Dは1台で16chの測定が可能です。変換器を最大4台(64ch分)のデータを同時に収集でき、パソコンから変換器の設定変更も可能です。変換器を最大4台(64ch分)のデータを同時に収集できます。通信データはDBCファイルにより風速値に変換します。各種液体の流量を流路においた羽根車の回転数により測定します。回転数の検出にはオプティカルセンシング方式を採用して、信頼性を大幅に向上しました。接液部はフッ素樹脂系(軸のみ石英ガラスまたはサファイヤ)で構成され、計測液体中への金属イオン融出の心配がありません。設置が容易プロセスへの接続はチューブ継手を標準として、シール性をより向上しました。半導体製造プロセスにおける純水、超純水または各種薬液の流量測定に最適です。※製品につきましては、予告なく仕様などが変更になる場合もございますが、予めご了承ください。