研究成果概要:本申請課題の目的は、支持梁の幾何形状を工夫することで各自由度に対する共振周波数を設計し、その構造を用いることで少数駆動電極による多自由度のMEMSスキャナの設計と実現可能性の検証を行うことである。3自由度(x軸回転、y軸回転、z軸...本申請課題の目的は、支持梁の幾何形状を工夫することで各自由度に対する共振周波数を設計し、その構造を用いることで少数駆動電極による多自由度のMEMSスキャナの設計と実現可能性の検証を行うことである。3自由度(x軸回転、y軸回転、z軸回転)を有するMEMSスキャナを対象として、理論的に梁の設計を行うとともに有限要素法シミュレーションにより解析を行った。その結果、1対の梁によって、3自由度の共振周波数の離れた梁形状を設計することができた。マイクロファブリケーションを用いてMEMSスキャナの試作を行った。試作したMEMSスキャナの共振周波数特性を計測した結果、シミュレーションによる値と同等の特性を得ることができた。近年フレキシブルデバイスの研究が盛んになっているが、曲げのみならず伸縮に耐えられる配線材料はほとんどない。近年フレキシブルデバイスの研究が盛んになっているが、曲げのみならず伸縮に耐えられる配線材料はほとんどない。S/mであることと比べると非常に低い。そのため、高い伝導率と高い伸縮耐性とを兼ね備えた電気配線が求められている。そこで、本研究では液体を利用することによる曲げられかつ伸縮可能な電気配線を目的とした。Systems)の加工技術により製作する。金属としてはAuを、柔軟基板としてはシリコーンゴムの一種であるPDMS(polydimethylsiloxane)を用いた。液体としては、イオン液体を用いることとした。その理由としては、高いイオン伝導率を持つことに加え、水に比べ広い電位窓をもつため電気的に利用しやすいこと、化学的安定性が高いことが挙げられる。未硬化のPDMSをイオン液体と接した状態で硬化させようとすると硬化阻害が起こり、PDMSが硬化しないという問題が発生した。化学的気相堆積)が可能なパリレンは、シリコーンオイルやグリセリンのような低蒸気圧の液体上に直接成膜することができることが知られている。イオン液体もまた低蒸気圧の液体であるため、イオン液体をパリレン膜で封止した後に未硬化のPDMSを流し込み柔軟基板への埋め込みを行った。伸縮配線を抑える治具と計測用の電極端子が直動ステージに取り付けられた計測セットアップを用いて歪みに対する伝導率の変化の計測を行った。S/mと10^6オーダの電気伝導率が得られた。研究成果概要:本申請課題の目的は、蛇腹折りやミウラ折りのような折り畳みを利用することで、伸縮変形や曲面への貼付けが可能なシートデバイスを実現することである。基板の中立面に電気配線を配置し、曲げ変形を受けない平板部に発光素子やセンサ素子を...本申請課題の目的は、蛇腹折りやミウラ折りのような折り畳みを利用することで、伸縮変形や曲面への貼付けが可能なシートデバイスを実現することである。基板の中立面に電気配線を配置し、曲げ変形を受けない平板部に発光素子やセンサ素子を配置すれば、電気配線や発光素子・センサ素子に曲げ耐性・伸縮耐性がなかったとしても、デバイス全体としては伸縮耐性を有することができる。これにより、金属や半導体など、曲げ耐性・伸縮耐性を有しないが高性能・高機能な材料を用いて、伸縮変形可能なデバイスを実現することが可能となる。研究成果として、2次元の折り畳み方法の1つであるミウラ折りに切り込みを設けることで変形の自由度を増した構造による伸縮変形可能なLEDデバイスを実現した。