DLC分類試験機によりDLCの光学的分類を行います。膜厚をモデル式とのフィッティングにより算出する測定方法です。SEについてイメージングシステム(MyAutoView)により、測定スポットを確認しながら位置合わせが可能です。InP)以外の基板の場合は、別途基板のみの試料が必要です。中間層がある場合は中間層のみの試料もお送りください。お送りいただくことが困難な場合は、解析モデル構築のため中間層材料の情報をいただく必要があります。PEN等)は、光学異方性があるため測定が困難な場合があります。2013」に論文が掲載されました。