成膜装置の部材のクリーニングを行う。炭化珪素の成膜装置の部材について、できるだけ損傷させず、付着物を除去することができる。図のように、まず、炭化珪素が付着した部材を収容するチャンバー内にプラズマ化したフッ素含有ガスを供給し、珪素成分を除去する。除去により生じる四フッ化珪素の濃度が最大になった後、5〜10測定時間区間で連続してマイナスになった段階で、プラズマ化したフッ素含有ガスの供給を終了する。次に、チャンバー内にプラズマ化した酸素含有ガスを供給し、炭素成分を除去する。除去により生じる二酸化炭素の濃度が最大になった後、5〜10測定時間区間で連続してマイナスになった段階で、プラズマ化した酸素含有ガスの供給を終了する。