Company)から先端プロセスに対応する半導体製造用ドライエッチング装置を9台受注したと、中国および韓国の複数のメディアが報じている。NANDの量産を開始。2020年末には生産能力を月産6万枚(300mmウェハ換算)まで拡大する計画を立てているが、計画は遅れがちであるという。AMECは2019年にもYMTCに13台のエッチング装置を納入しており、今回の受注は増産に備えた追加分とみられている。TSMCの5nm装置性能認定を取得AMTCは、2004年に上海に設立されたエッチング装置専業メーカーで、最近はALCVD装置も手掛けるようになってきた。Yin氏が設立した半導体製造装置メーカーで、現在は最先端プロセスである7nmにも対応できる製造装置を出荷できるまでに成長してきたとされる。TSMCにもエッチング装置を納入している模様で、TSMCによる5nmライン向けの装置性能認定も取得、5nm向け装置サプライチェーン入りを果たしているという。中国政府からの資金援助を受けて次世代となる3nmプロセス向けドライエッチング装置の開発を進めているとも言われている。Research、東京エレクトロン(TEL)の3強でほぼ独占されてきたが、中国での半導体製造が活発化するとともに、AMECがシェアを伸ばそうとしている。けエッチング装置を商品化できるまでに成長したAMECが世界3大エッチング装置メーカーからどれだけシェアを奪っていけるのかは注目する必要があるだろう。Webサイト)※本記事は掲載時点の情報であり、最新のものとは異なる場合があります。Corporation。