発熱体にSiC材を用いることで、超高真空から大気圧近傍まで、高温に加熱することができます。真空対応パスボックス−真空対応パスボックス先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。併設展示ブースに出展いたします。併設展示ブースに出展いたします。併設展示ブースに出展いたします。広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。