microscope電子線を用い,電子レンズによって試料の拡大像を得る装置。電子線の波長が短いので,光学顕微鏡よりもはるかに高倍率・高分解能をもっている。大きく分けると透過型と走査型とがある。加速された電子線を磁界レンズにより試料に集束させ,試料を透過した電子線を再び磁界レンズによって結像させ,ケイ光面上に拡大像を得るもの。300万~400万倍の倍率,2~3Åの分解能が得られている。程度の装置も製作されており,種々の工夫を加えて「原子の像」らしきものをとらえうるようになっている。電子線が透過しうるように試料は十分薄いことが必要で,そのための技法もいろいろ開発されている。加速集束された電子線を試料上で走査し,試料から放出される二次電子あるいは反射電子の量に応じて,入射電子線の走査と同期させてブラウン管上に明暗の像を描かせるもの。最大の倍率は数万倍程度,分解能は一次電子線の径で決り,50~200Å程度で,ともに透過型には及ばないが,試料作製に特別の技術は不要である。大きい特徴があり,表面の凹凸の観測に威力を発揮する。reserved.それぞれの記述は執筆時点でのもので、常に最新の内容であることを保証するものではありません。した電子の流れ「電子線」を用い、電子レンズによって試料の拡大像を得る装置。光学顕微鏡よりもはるかに高倍率。