Spectrometer)分析を行う時に必ず出てくるものの代表として、「検出限界」と「定量下限」がある。前者は分析対象成分の有無を判断できる最小値であり、後者はその存在量を定量できる最小値である。当然ながら、通常は、検出限界<定量下限となる。一般的には定量限界は下限値で表されるが、注意すべき点として、下限値だけでなく検出器の飽和や直線性の崩壊などによって決まる上限値が問題となることもある。XRFでは基本的には問題とならないが、検出限界についても装置へのダメージなどから上限も考慮する必要が生じることがある。厳密には、5%許容検定基準で3.29倍である(3倍では7%)。JISでは3倍で定義されている。正確には、許容誤差で定義が変わる(10倍では許容偏差10%)。JISでは、14.1倍で定義されている。両者とも、本来は、ブランク液に何を使うかも重要な要因となる。