MEMSデバイスは、各種センサーなど自動車分野や医療機器分などで幅広く使用されています。プラズマ発光モニタEV-140はデバイス製造工程において、エッチングのエンドポイント検出を行い、製品の品質向上に貢献します。クリックすると、関連製品モデル一覧をご覧いただけます。Series多様な通信方式と、ワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。D500差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。Seriesウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。