(2)引用例2同じく原査定の拒絶の理由に引用された特開2005-66753号公報(以下、「引用例2」という。)には、「ワーク搬送システムの制御方法」について、図面とともに以下の各記載がある(なお、下線は当審で付与した。前記搬送軌跡に、搬出されるワークの後端が搬出元チャンバのゲートに機械的に干渉しない位置である第2の点を設定し、前記搬送軌跡によるワークの搬出時に、ワークが第2の点に搬出される時間と、ゲートがワークと接触しない開度に閉じる時間とを演算し、2つの時間によって、搬出開始とゲートの閉動作の開始との時間を算出し、搬送のタイミングと速度を制御する請求項1のワーク搬送システムの制御方法。」イ.「【0004】しかるに、このような従来の搬送制御方法では、ワークWが搬送元のチャンバ31から完全に搬出されるまではゲート32を閉じる操作が行われず、ゲートの閉動作が遅れ、このゲート32が完全に閉じてからでないと搬送先のチャンバ33のゲート34を開くことができないので、ゲート34の開動作が遅れることになる。搬送先のチャンバ33のゲート34が完全に開くまではワークWの搬入を行わないため、ゲート34が完全に開いた状態のときに、ワークWはゲート前の点P15までしか搬送できない。このため、ゲートの開閉やワークの搬出搬入に実質的な待ち時間を生じている。本発明は、ゲートの開閉動作中であっても、ワークをゲート位置に搬送させて、高スループット化を実現させることを目的とする。図2のトランスチャンバ20からプロセスチャンバ23に、ワークWを搬入する場合について、搬送制御方法を説明する。ワークWがアーム22に保持され搬送を開始すると、速度パターンB生成処理(ステップ1)で点P3を最終位置とした速度パターンBを生成し、この速度パターンによって搬送ロボット21がワークWを搬送軌跡Aに沿って搬送させる。ワークWが点P1に到達した時点(ステップ2)で、ゲート24の開度検出器25よりゲートの開閉情報26を入手してゲートの開度状態をチェックする(ステップ3)。ゲート24が既に開いている場合は(ステップ8)でそのまま速度パターンBの速度を継続し、何らかの事情でゲートが閉じている場合は(ステップ9)で直ちに減速停止させる。ゲートが開動作の途中であれば、速度パターンBの速度を維持して搬送した場合にワークがゲートと接触するかどうかを(ステップ4)で演算し判断する。【0010】たとえば、ゲート開閉情報26が、図3のゲート開度G1であれば、ゲートの開速度は決まっているので、ワークWがゲート位置に到達するまでの時間(P1からP2への搬送時間)と、その時間でゲートがワークに接触しない位置G2まで開くか否かにより、ワークとゲートが接触するかどうかが判断される。この判断結果で、接触しない場合は(ステップ8)によりそのまま速度を継続する。接触すると判断された場合は、(ステップ5)で接触しない速度を算出し、変更した速度パターンCを生成し(ステップ6)連続して搬送する。速度パターンBは、搬送時間を小さくするため、できるだけ高速にしているため、速度パターンCは速度パターンBより通常は減速される。ワークが点P2を通過(ステップ7)した後は、ゲート24はワークと接触しないよう十分に開いているので、(ステップ8)で速度パターンBに戻して搬送終点点P3で停止させる。」エ.「【0012】ワークWをプロセスチャンバ23から搬出する時は、搬出速度と点P3から点P2までの距離によってワークWを点P2まで搬出する時間と、ゲートがワークと接触しない開度G2まで閉まる時間を演算し、この2つの時間によって、搬出開始とゲートの閉動作の開始との時間を算出する。点P3と点P2の距離が小さく、搬出時間がゲートの閉動作時間より長いときは、搬出を開始して前記2つの時間の時間差に応じたタイミングでゲートの閉動作を行わせ、搬出時間がゲートの閉動作時間より小さいときは、先にゲートを動作させ、時間差で搬出を開始する。これにより搬出開始からゲートが完全に閉まるまでの時間を短縮できる。点P3と点P2の距離が十分に大きければ、点P3とP2の間にP1に相当する点を設け、速度パターンを変えるようにすることができる。・上記引用例2に記載の「ワーク搬送システムの制御方法」は、上記「ア.」の【請求項1】、「イ.」の記載事項によれば、それぞれゲートをそなえた複数のチャンバと、前記チャンバ相互間にワークを搬入および搬出させる搬送ロボットをそなえたワーク搬送システムにおいて、チャンバのゲートが開閉動作中であっても、ワークをゲートに接触しない程度に近接してゲート位置を通過させることにより、高スループット化を実現させるようにしたワーク搬送システムの制御方法に関するものである。・具体的には、上記「ア.」の【請求項2】、「ウ.」の記載事項によれば、チャンバへのワークの搬入時には、搬入されるワークをチャンバのゲートに接触しないように停止させることができる距離にある第1の点と、ワーク先端が前記ゲートに機械的に干渉する直前の第2の点を設定し、第1の点において、搬送ロボットの速度パターンBにより第2の点に到達する時間と、ゲートがワークと接触しない開度になる時間とを演算し、2つの時間を比較することによって、ワークとゲートが接触するかどうかを判断し、接触しないと判断した場合には、そのままの速度を継続し、接触すると判断した場合には、接触しなくなるような減速した速度を算出し、第2の点までその算出した速度パターンCに変更してワークを搬送するように制御するものである。・また、上記「ア.」の【請求項3】、「エ.」の記載事項によれば、チャンバからのワークの搬出時には、ワーク後端がゲートに機械的に干渉しない位置である第2の点を設定し、ワークが第2の点に搬出される時間と、ゲートがワークと接触しない開度に閉じる時間とを演算して、2つの時間を比較し、搬出時間がゲートの閉動作時間より小さいときは、先にゲートを動作させ、時間差で搬出を開始するように制御するものである。したがって、上記記載事項及び図面を総合勘案すると、引用例2には、次の技術事項が記載されている。「それぞれゲートをそなえた複数のチャンバと、前記チャンバ相互間にワークを搬入および搬出させる搬送ロボットをそなえたワーク搬送システムにおいて、チャンバのゲートが開閉動作中であっても、ワークをゲートに接触しない程度に近接してゲート位置を通過させることにより、高スループット化を実現させるようにしたワーク搬送システムの制御方法であって、チャンバへのワークの搬入時には、搬入されるワークをチャンバのゲートに接触しないように停止させることができる距離にある第1の点と、ワーク先端が前記ゲートに機械的に干渉する直前の第2の点を設定し、第1の点において、搬送ロボットの速度パターンBにより第2の点に到達する時間と、ゲートがワークと接触しない開度になる時間とを演算して2つの時間を比較することによって、ワークとゲートが接触するかどうかを判断し、接触しないと判断した場合には、そのままの速度を継続し、接触すると判断した場合には、接触しなくなるような減速した速度を算出し、第2の点までその算出した速度パターンCに変更してワークを搬送するように制御し、チャンバからのワークの搬出時には、ワーク後端がゲートに機械的に干渉しない位置である第2の点を設定し、ワークが第2の点に搬出される時間と、ゲートがワークと接触しない開度に閉じる時間とを演算して、2つの時間を比較し、搬出時間がゲートの閉動作時間より小さいときは、先にゲートを動作させ、時間差で搬出を開始するように制御すること。」(3)引用例3同じく原査定の拒絶の理由に引用された特開2005-138010号公報(以下、「引用例3」という。)には、「常圧プラズマ処理装置」について、図面とともに以下の各記載がある(なお、下線は当審で付与した。次に、搬送ライン前段のプラズマ処理装置2について説明する。図2に示すように、プラズマ処理装置2は、ハウジング20と、このハウジング20内に収容されたプラズマ処理ヘッド50(処理本体部)と、ハウジング20の外部に設けられた処理ガス供給源Sおよび電源V(電界印加手段)を備えている。ハウジング20は、搬送ラインに沿う前後細長状をなしている。3のハウジング30の前端部と一体に連なっている。ハウジング20の内部に、コンベア1の前半部が収容されている。【0024】ハウジング20の前端の壁21と、隔壁22,23と、ハウジング20の後端の壁(浸漬洗浄ハウジング30との隔壁)24には、それぞれ基材90のための搬入出口21a,22a,23a,24aが形成されている。各搬入出口21a,22a,23a,24aには、それを開閉するシャッター(扉)41,42,43,44が設けられている。これらシャッター41,42,43,44は、通常、閉じられている。基材90を出し入れするときのみ、開くようになっている。各バッファ室20b,20cにおいて、前後2つのシャッターのうちの一方が、基材90を出し入れすべく開いている時、他方のシャッターは、必ず閉じられている(図3、図4)。図示は省略するが、各搬入出口21a,22a,23a,24aの近傍には、そこに基材90が位置しているか否かを感知する基材感知センサがそれぞれ設けられている。各基材感知センサの感知信号は、装置M全体の動作を統括するコントローラ(制御手段)100に入力される。図面を総合勘案すると、引用例3には、次の技術事項が記載されている。「プラズマ処理装置のハウジングに形成された基材のための各搬入出口には、基材を出し入れするときのみ開くシャッターが設けられるとともに、各搬入出口の近傍には、そこに基材が位置しているか否かを感知する基材感知センサがそれぞれ設けられ、コントローラ(制御手段)が、各基材感知センサの感知信号に基づいて各シャッターの開閉制御を行うこと。」(4)引用例4同じく原査定の拒絶の理由に引用された特開2004-18922号公報(以下、「引用例4」という。ついて、図面とともに以下の各記載がある(なお、下線は当審で付与した。前記制御手段は、前記第1の処理容器内が前記第1の圧力から前記第2の圧力となった時点で前記第1の処理容器と前記搬送室との間のゲートバルブを開き、基板交換作業が終了した時点で該ゲートバルブを閉じることを特徴とする基板処理装置。真空ポンプ8の回転数が最大回転数の3.2×105rpmに達すると、第1の処理容器4内の圧力は10-4Paに到達し(ステップS3)、搬送室6内の圧力に等しくなる。この時点でゲートバルブ7Dを開き(ステップS4)、第1の処理容器4に搬送室6の基板搬送機構6aのアームが進入できるようにする。この時点で、回転数制御部9は、第1の処理容器の真空ポンプの回転数を下げ始める。【0038】ゲートバルブ7Dが開いたら、第1の処理容器4内の処理が終了した基板を搬基板搬送機構6aにより保持して搬出し、第2の処理容器5内に移すと同時に、次に処理を行う基板を、PCEM3から搬出して第1の処理容器4内へ搬入する。次に処理を行う基板の搬入作業入が終了したら(ステップS5)、ゲートバルブ7Dを閉じる(ステップS6)。」ウ.「【0045】なお、真空ポンプ8の回転数制御部9を含む基板処理装置全体の動作は、制御部10(制御手段)により制御される。したがって、基板搬送機構6aの制御、各ゲートバルブ7A?7Eの開閉動作、第1の処理容器への原料ガス及びパージガスの供給用バルブの開閉動作も、制御部10により行われる。図面を総合勘案すると、引用例4には、次の技術事項が記載されている。前記制御部は、各ゲートバルブの開閉動作について、第1の処理容器内が第1の圧力から搬送室内の圧力に等しい第2の圧力となった時点で前記第1の処理容器と前記搬送室との間のゲートバルブを開き、基板交換作業が終了した時点で当該ゲートバルブを閉じるように制御すること。本願発明と引用発明とは、「ゲートバルブを介して互いに連結された第1チャンバおよび第2チャンバと」を備える点で一致する。本願発明と引用発明とは、「前記ゲートバルブが開かれた状態で前記第1チャンバから前記第2チャンバに搬送路に沿ってキャリアを搬送する搬送機構と」を備える点で一致することは明らかである。本願発明と引用発明とは、後述の相違点を除いて「前記キャリアが前記停止位置に到達する前に前記キャリアを検知するセンサと、前記センサからの検知信号に基づいて、所定の制御を行う制御部と」を備える点で共通するということができる。本願発明における「基板搬送装置」に相当する。前記センサからの検知信号に基づいて、所定の制御を行う制御部と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。」である点で一致し、以下の点で相違する。[相違点1]本願発明では、「前記第2チャンバの中の停止位置に前記キャリアが停止したときに前記キャリアの先端を検知するための第1停止位置センサと、前記停止位置に前記キャリアが停止したときに前記キャリアの後端を検知するための第2停止位置センサと」を備え、制御部が「前記第1停止位置センサおよび前記第2停止位置センサの検知信号に基づいて、前記第2チャンバの中で所定の処理が行われる」ように制御する旨特定するのに対し、引用発明では、そのような特定がない点。[相違点2]本願発明では、キャリアが停止位置に到達する前に当該キャリアを検知するセンサが、「前記第1停止位置センサと前記第2停止位置センサとの間に配置され」るものであり、そのセンサからの検知信号に基づいて制御部が、「前記キャリアが前記停止位置に到達する前に前記ゲートバルブに閉動作を開始させ」るように制御する旨特定するのに対し、引用発明では、そのような特定がない点。3.判断まず、上記[相違点2]について検討する。(a)引用発明においても、キャリア(基板搬送シャトル)が停止位置に到達する前に当該キャリアを検知するセンサが設けられているものの、当該センサの検知信号に基づいて制御部(制御システム)は、キャリアがさらに所定距離だけ移動して停止位置に到達するように、当該キャリアの動きを制御するものであって(前記「2.(3)」を参照)、ゲートバブル(仕切弁)の閉動作を制御することについては、引用例1に記載も示唆もない。第2のチャンバ内で基板に対してプロセスを実行する際には当然、ゲートバブルを閉じるようになされるが、引用発明は、「前記基板搬送シャトルの全長は前記第2のチャンバのよりも長いため、基板を支持する前記基板搬送シャトルが前記第2のチャンバに入った後、当該第2のチャンバ内で基板に対してプロセスを実行するには、まず、基板を前記基板搬送シャトルから前記リフトメカニズムに受け渡し、前記基板搬送シャトルを前記第2のチャンバから退避させ、その後に前記仕切弁を閉じる」ようにする必要があるものであり、このことを踏まえると、たとえ、引用例2(前記「1.(2)」を参照)には、上位概念として捉えて「チャンバのゲートが開閉動作中であっても、ワークをゲートに接触しない程度に近接してゲート位置を通過させることにより、高スループット化を実現させるようにした」ことが記載されているとしても、かかる技術事項を引用発明に適用すべき動機付けは見出せない。言えば、(b)引用例2では具体的には、チャンバへのワークの「搬入時」には、ワークとゲートが接触するかどうかを判断し、接触しないと判断した場合には、そのままの速度を継続し、接触すると判断した場合には、接触しなくなるような減速した速度を算出し、その算出した速度に変更してワークを搬送するように制御し、一方、チャンバからワークの「搬出時」には、搬出時間がゲートの閉動作時間より小さいときは、先にゲートを動作させ、時間差で搬出を開始するように制御することは記載されているが、本願発明のように、第2チャンバへのキャリアの「搬入時」において、「前記キャリアが前記停止位置に到達する前に前記ゲートバブルに閉動作を開始させ」るように制御を行うことの記載まではなく、キャリアが停止位置に到達する前に当該キャリアを検知するための「センサ」を有することの記載もない。動作を制御する制御部を有し、これらの制御は、例えば処理容器の圧力や基板搬送機構の動作を検出するセンサからの信号に基づいて行われてもよいことが漠然として記載されているのみであって、本願発明のように、「前記キャリアが前記停止位置に到達する前に前記キャリアを検知するセンサ」を設け、「前記センサからの検知信号に基づいて、前記キャリアが前記停止位置に到達する前に前記ゲートバルブに閉動作を開始させ」る制御を行うことが記載あるいは示唆されているということはできない。(d)また、引用例1?4のいずれにも、停止位置にキャリアが停止したときに、当該キャリアの先端を検知する「第1の停止位置センサ」、及び当該キャリアの後端を検知する「第2の停止位置センサ」とを設けることについて、記載も示唆なされていない。したがって以上のことから、少なくとも本願発明における、キャリアを検知するセンサを「前記第1停止位置センサと前記第2停止位置センサとの間に配置」し、当該センサからの検知信号に基づいて、制御部が「前記キャリアが前記停止位置に到達する前に前記ゲートバルブに閉動作を開始させ」るように制御を行うという発明特定事項については、引用発明及び引用例2?4に記載の技術事項に基づいて当業者であれば容易に想到し得たものとすることはできない。有することにより、「処理チャンバでの処理時間を短縮でき、スループット及び生産性を向上させることができる」という効果を奏するものである(特に、本願明細書の段落【0009】、【0050】を参照)。よって、他の相違点(相違点1)について検討するまでもなく、本願発明は、引用発明及び引用例2?4に記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。第4.むすび以上のとおり、本願の請求項1に係る発明は、引用発明及び引用例2?4に記載の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができないから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。よって、結論のとおり審決する。