�]線の光子一つに対して、そのエネルギーに対応する1つのピークを検出することになる。如何に述べるような様々な要因によって妨害(ゴースト)ピークが現れることがある。2つの光子が計測時間内に入射することで、これらを一光子としてカウントしてしまい2つの光子エネルギーが加算された位置に発生するピーク。エスケープ・ピーク検出器を構成する材料を入射�]線が励起して発生するピーク。チャージコレクションロス検出時に、電子・正孔対が再結合などで計測までに消失してしまったときに、低エネルギー側で発生するピーク。散乱(入射�]線と物質の相互作用)・コンプトン散乱(1)試料内で非弾性散乱の一種であるコンプトン散乱を起こすことによって入射�]線がエネルギーの一部を失うために、低エネルギー側にピークが生じる。検出器内でもコンプトン散乱が生じることがあり、本来のピーク位置よりも低エネルギー側に生じる。入射X線が試料内で弾性散乱を起こして、検出器方向に進んだときに見られ、入射X線と同じ波長に観察される。(特に光学系周辺)からの散乱や蛍光�]線が検出されることがある。