光ファイバ光ファイバ現在のIT社会の基幹を担う光ファイバ等の合成石英生産プロセスにおいて、HORIBAの液体材料気化システムが数多く活躍しています。4、GeCl4はバブラー方式やベーキング方式を用いい気化し、供給されます。HORIBAは安定・連続発生が可能な生産設備へ、各種気化方式の液体材料気化システムを提案しています。クリックすると、関連製品モデル一覧をご覧いただけます。Series多様な通信方式と、ワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。Seriesマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。Series液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。Series多様な通信方式と、ワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。Seriesマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。Series冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ&メータ。series気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。Series多様な通信方式と、ワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。Seriesマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。ピエゾバルブを搭載したデジタルプレッシャレギュレータ。デジタル/アナログ通信モデル、デバイスネット通信モデルをラインナップ。Seriesプロセス装置に搭載し排ガス成分(SiF4、CF4)をリアルタイムにモニタリング可能。Seriesバブリング供給ライン用インラインガス濃度モニタ。材料ガスの安定供給に。IR-200排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタ。POCl3自動供給装置は、高い生産性、コスト削減、プロセス安定性、高い安全性、信頼性を実現しています。アクセシビリティサイトマップ。