PDP/LCD製造装置PDP/LCD製造装置ガラスカセットの昇降装置LCD製造装置に於て積層ガラス板を順次搬入、搬出させるガラスカセット昇降装置です。サーボモータを使い正確にピッチ送りをします。クリーン対応も完全です。真空チャンバーの開閉装置PDP、LCD装置に於ける真空処理チャンバーの蓋開閉装置として独自設計しています。片持駆動の高トルク減速機でシンプルな構造としています。クリーン対策も完全でメンテナンスを容易にしています。