窒素、水素、ヘリウム、アルゴンなどのガスをマスフローコントローラを用いて導入します。真空、不活性ガス雰囲気にすることで酸化を防ぎ、加熱ムラを防ぐことができます。HORIBAのマスフローコントローラは精度良くガス流量を制御することができるだけではなく、常温用・高温用マスフローコントローラ、また流量レンジも低流量から大流量まで対応可能なモデルなど豊富なラインナップを取り揃えており、プロセスにより最適な製品とソリューションを提案します。多く採用されています。液体材料や発生条件により、様々な気化ソリューションをご提案いたします。鋼の表面層に炭素を侵入させ、炭素濃度を高め、焼き入れすることで耐摩耗性、高靭性を得ることができる真空浸炭炉においてHORIBAのマスフローコントローラはエチレン、水素などの流量を正確に制御します。クリックすると、関連製品モデル一覧をご覧いただけます。Series多様な通信方式と、ワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。D500差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。series気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。Seriesノンキャリアタイプのコンパクト液体材料気化システム。TEOS気化システムのベストセラーモデル。Series液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。POCl3自動供給装置は、高い生産性、コスト削減、プロセス安定性、高い安全性、信頼性を実現しています。Series冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ&メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。アクセシビリティサイトマップ。