半導体業界における高純度原料などの超微量元素分析に対応できるように構成されています。既知のマトリクスや一貫性のあるマトリクスにおいて予想される干渉を除去する高いパフォーマンスを備えています。台の同じ機器で実行することができます。セルにより、これまでにない干渉性能が実現しています。いった元素の業界標準メソッドを提供します。いった反応性の高いガスに対応します。すべての一般的な半導体サンプルに対応する標準操作手順により、メソッド開発を簡略化します。冷却エアフローシステム設計の見直しにより、熱放出を抑え、排気口からの流量を削減しています。クリーンルームに設置する場合は、この機能は特に重要となります。ソフトウェアプラットフォームにより、高度なデータ解析およびレポート作成機能が実現します。貴重なワークベンチやラボのスペースを節約します。