Japanese)現在、フッ素ガスは、工業的にはKF・2HF電解浴を90°Cにおいて電解することで製造されているが、装置が大がかりで、エネルギー効率も低くなるという問題点がある。陰極で発生する水素ガスが陽極で発生するフッ素ガスと接触すると爆発を起こすという安全上の問題点もある。そのため、陰極室と陽極室のガス圧のバランスをとるように圧力をモニタし、調整する複雑な機構が必要となる。近年、高圧ガス取扱に関する法改正と企業の法令遵守により、ボンベによるフッ素ガス供給が停止し、フッ素ガスの入手自体が困難であるため、フッ素ガスを用いる実験室あるいは小規模な製造工場などではオンサイトフッ素ガス発生装置が必要となったが、上記のような問題点から、電解浴の数倍ものサイズにわたる複雑な周辺装置が必要となっており、価格面やメンテナンス経費からも導入が困難である。学術研究の面でもフッ素ガスの使用がきわめて困難な危機的状況に陥っており、我が国のフッ素化学の基盤研究がその根底から揺らいでいるといっても過言ではない。この問題を解決するためには研究室あるいは小規模な工業レベルで用いることができるフッ素ガスを安全にオンサイトで製造する装置が必要である。KF-HF系塩の凝固点は、非特許文献1に記載され、CsF-HF系塩の融点は非特許文献2に記載されている。非特許文献3は、フッ素ガス製造に使用されるCsF-HF複合体などを用いたフッ素ガス製造について記載されている。Japanese)本発明は、フッ素ガス発生用電解ユニット、フッ素ガス発生装置及びフッ素ガスの製造方法に関する。密閉可能な耐フッ素材料製容器の内部空間にフッ素ガス発生室、第1電極及び第2電極を備え、前記容器がフッ素ガス供給口を備え、前記第1電極がフッ化物を電極活物質とする電極であり、前記第2電極がフッ素耐性材料から構成された電極であり、前記フッ素ガス発生室に液状電解質を存在させたときに前記第1電極と第2電極の一部が前記液状電解質に浸ることができる、フッ素ガス発生用電解ユニット。前記フッ素ガス発生用電解ユニットがフッ化水素(HF)供給路に接続可能なフッ化水素(HF)供給口を備え、前記フッ素ガス発生室にアルカリ金属フッ化物を配置した状態で前記HF供給口からHFを供給することで、密閉状態で前記フッ素ガス発生室にアルカリ金属フッ化物とフッ化水素の複合体から構成される電解質を生じさせ得る、請求項1に記載のフッ素ガス発生用電解ユニット。【請求項3】さらに少なくとも1つの参照電極を備えてなる、請求項1又は2に記載のフッ素ガス発生用電解ユニット。前記電解質が室温で固体である場合に加熱融解する工程を電解工程の前にさらに含む、請求項11~14のいずれか1項に記載のフッ素ガスの製造方法。