プロファイラーアプリケーションサポート資料請求サポート希望会社所在地ビデオで学ぶ薄膜オンラインミーティングお問い合わせ検索フォトレジストフォトレジストの測定の成功には、いくつもの特有の挑戦を乗り越えることが必要とされ、それは全てフィルメトリクスの自動膜厚測定システムで行うことができます。特有の挑戦には、測定するレジストを光源に晒すことなく、フォトレジストの広域を覆う屈折率ライブラリーにアクセスし、焼付けや露光の度合いで屈折率を変更するためフォトレジストの傾向に対応する能力が含まれます。*膜厚範囲はモデル、オプション、材質、測定材料により異なります。F50/F60アプリケーションカタログをリクエストするSU-8やその他の厚いフォトレジストの測定は、素早く簡単ではあるもののスピンコーティングが希望の膜厚に従うための不正確な方法となり得るため特に重要です。露光時間はレジスト厚によるため、正確な測定が行われなければなりません。複雑な複数層のマイクロマシン技術構築を形成するため正負のフォトレジストが同時に使用されることもあるため、各層の膜厚を理解する事は非常に重要な課題となります。独立フォトレジスト膜でさえも3nmから1mmまで計測可能な、幅広い卓上そしてマッピングシステムを取り揃えています。全てのフィルメトリクスの製品は正確な分光反射率モデリングにより膜厚(と屈折率)を計測します。独自の特別なアルゴリズムにより通常一秒以内に正確な”ワンクリック”分析を行います。測定例フォトレジストコーティング厚の測定はMemsのような様々な半導体デバイスの開発と製造には必要不可欠です。フィルメトリクスはSU-8やその他のフォトレジスト厚の測定に、幅広い解決策を提供しています。このサンプルでは、シングル用にF20システムが、複数箇所の測定にはF50システムが用いられ、シリコン上のSU-8コーティング厚が素早く効果的に測定されました。アモルファスとポリシリコンの屈折率と消衰係数APPLICATIONS_amorphous-poly-silicon_FilterKeywordsCMPF80膜厚測定システムは、酸化物、STI、金属CMPプロセスの測定に使用されています。APPLICATIONS_cmp_FilterKeywords誘電体フィルメトリクスは産業界で使用される数千もの誘導体膜の測定システムを取り揃えています。APPLICATIONS_dielectrics_FilterKeywordsハードコート厚フィルメトリクスのシステムはハードコートやプライマー厚を測定する自動車業界で幅広く使用されています。APPLICATIONS_hardcoat-thickness_FilterKeywordsIC故障解析F3-s1550はシリコンの裏面シニング測定をするチップ産業で使用されています。測定が測定ボタン一つで可能です。APPLICATIONS_ito_FilterKeywords医療デバイス血管形成バルーン、ステント、インプラントコーティング、その他多数の膜厚を測定します。50nmまで測定します。Teflons等の膜厚と屈折率を測定します。ハードコート層厚の測定が可能です。APPLICATIONS_ophthalmic_FilterKeywordsParyleneコーティングParyleneコーティングサンプルをF3-CSのステージ上に置くだけで膜厚の測定が可能です。APPLICATIONS_parylene_FilterKeywordsフォトレジスト当社は数十もの異なるレジストを測定しており、屈折率ファイルもお使いのレジストに応じて作成できます。APPLICATIONS_porous-silicon_FilterKeywordsプロセス膜フィルメトリクスは半導体プロセス膜の測定用に完全なシステムを取り揃えています。APPLICATIONS_process-films_FilterKeywords屈折率と消衰係数190-1700nm範囲の屈折率と消衰係数を測定APPLICATIONS_refractive-index_FilterKeywordsシリコンウエハーと膜フィルメトリクスはシリコンを2mm厚まで測定する為の卓上、マッピング、製造システムを取り揃えています。APPLICATIONS_si-wafers_FilterKeywordsソーラーアプリケーションCdTe、CdS、CIGS、アモルファスシリコン、TCO、反射防止層、その他の膜厚を測定します。50台以上のF20が大学機関研究所で使用されています。APPLICATIONS_teaching-labs_FilterKeywordsウェブコーティングフィルメトリクスのシステムはインラインのポリマー膜厚測定用に幅広く使用されています。無断複写・転載を禁じます。(月-金まで24時間営業)当サイトをご利用されることにより、当社の最新のプライバシーポリシーとクッキーポリシーに同意することになります。