[0189]また、得られたKNN膜を酸素含有気流中600°Cで10分間熱処理した。31,f)を示すことから(図27上右図)、自己分極していることが確認される。31,fの値の膜厚依存性はほぼ無かった。depo.KNN膜、(b)は膜厚2.5μmの600°C熱処理KNN膜、(c)は(a)と(b)の特性の比較、(d)は強誘電特性の値である。31,fの膜厚依存性を評価した結果を示す。31,fは膜厚に依存していない。熱処理(アニール)することで、KNN膜の圧電特性が向上している。depo.のKNN膜でも既報の値と匹敵する値であり、熱処理すると既報の値と比べて優れた値である。31,fから(図27下右図)、自己分極がないこと、圧電特性には分極処理が必要であることが確認される。depo.膜は従来知られている熱処理膜とほぼ同じ値であることが確認された。[0195]図31の上方のグラフに、熱処理温度を変えたときのP-Eヒステリシス曲線のシフト量の変化を示す。depo.のKNN膜から熱処理温度が上昇するに従い、シフト量が減少している。depo.膜を真空中で加熱して、加熱温度と膜中から放出されるOH量を測定したところ、100°C以下からOH放出が始まり、200°C前後に低いOH放出ピークがあり、500°C付近で大きなOH放出ピークが観察された。化学吸着しているOHの放出は200°C前後にピークがあり、結晶内に取り込まれているOHの放出は500°C付近にピークがある。[0197]図31の下方のグラフに、上記OH放出量から計算した膜中の水の量とP-Eヒステリシス曲線のシフト量との関係を示す。P-Eヒステリシス曲線のシフト量は膜中の水の量と相関があることが分かる。[0198](実施例24:水/アルコール混合溶媒)実施例1と同様にして、ただし加熱温度を240°Cに代えて200°Cと180°Cで堆積したKNN膜について、赤外線吸収分析(FTIR)をしたときの吸収強度パターンを実施例1の加熱温度が240°Cの場合を含めて、図32(a)に示す。図32(a)において吸収強度は任意単位であり、吸収パターンだけが意味を有する。-の量が200°Cで堆積したKNN膜、240°Cで堆積したKNN膜の順で少なくなっていることが分かる。[0199]実施例1と同様にして、すなわち、加熱温度を240°Cにして、ただし、オートクレーブ内の水溶媒を水/アルコール混合溶媒(混合重量比8.0/1.6)に代えてKNN膜を堆積した。[0200]実施例1において水溶媒中に生成したKNN粉体と、実施例1及び実施例24で得られたKNN膜とについて、試料を昇温して脱ガス質量スペクトル(TDS)で水分量を評価した結果を図32(b)に示す。図32(b)によれば、結晶内に取り込まれているOHが放出されるピーク(400~500°C付近)における水分量が、KNN膜ではKNN粉体と比べて2.8分の1と少なく、水/アルコール混合溶媒で得られたKNN膜では水溶媒で得られたKNN膜と比べて5分の1以下に低減している。したがって、水/アルコール混合溶媒を用いることで、KNN膜中の水分量が大幅に減少していること、KNN膜中の水分量は溶媒の組成を変えて制御できることが確認される。depo.、300°C熱処理、600°C熱処理のKNN膜の両面を電極で挟持して作製した圧電素子の一端を固定して、カンチレバーを作成し、圧電素子に電圧10V、周波数1kHzの交流電圧を印加してカンチレバー(圧電素子)の駆動を繰り返して、疲労特性を評価した。いずれにおいても、10,000,000サイクル後も圧電性は変化が認められなかった。