3膜を上記と同様にして厚さ10μm製膜し、その上にPt電極を上部電極として蒸着して、圧電素子モデルを作製した。3膜にマクロな剥離やクラックはなかった。[0205]この圧電素子モデルにおいて圧電特性に起因する電界-電界誘起歪(S-E)曲線が観測され、有機基板上で圧電特性を示すことから、圧電素子であることが確認された。33=23pm/Vと比べても優れている。3/インコネル圧電素子に振動を与えて発電の出力電圧を測定すると、周波数105Hzで出力電圧約9Vが観測された。[0207]図33に、観測された発電特性の変化と、圧電素子の基礎特性から計算される出力電力の変化(破線)を示しており、非常によく一致していることが分かった。最大出力電力は約3.6μWであった。3以下)と比べても大きい。3//金属箔)を用い、この金属箔を曲率半径約5.3mmのU字形に曲げ、金属箔の端部をテフロンの溝に埋め込んで作成した基板を用いて、実施例1と同様の手順で、KNN膜を作製した。膜厚は約14μmであった。3//金属箔)を用い、最大直径が約0.8cmのゼンマイの形状(2周半の巻回)に曲げ加工した基板を用いて、実施例1と同様の手順で、KNN膜を作製した。膜厚は約12μmであった。3膜は{100}配向していた。これらの湾曲基板上に製膜したKNN膜の圧電特性は、P-Eヒステリシス曲線における残留分極及び抗電界、I-V特性、漏れ電流のいずれにおいても、基板が平坦である場合と同等の良好な圧電特性を示した。General(登録商標))40内に配置した耐アルカリ性、耐圧性の反応容器(テフロン/PEEKの二重容器)41内に入れた水溶液42にマイクロ波を照射し、光ファイバで容器内の温度を観測しながら、設定温度220°Cに加熱して、その他は実施例1と同様の条件で。通常の加熱で得られたKNN膜と同様であった。[0213]その結果、マイクロ波加熱を用いると、通常加熱の場合と比べて製膜時間を大幅に短縮でき、例えば、従来数時間を要した膜厚のKNN膜を1時間以下の短時間で製膜できた。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。