Volumeに如何に正確な線量を照射するかによって決まる。治療術式の過程において、最も大きな誤差を生む要因は照射機器である。寿命、稼動率などを分析検討した。その結果、故障件数では設置され稼動を始めた1976年、装置の老朽化が進んだ1990、1991年に多かった。部位別集計では加速部に圧倒的に多く、次いで照射口、高圧部の順であった。稼動率は設置年および1987年を除いてはいずれも96%以上とよい結果であった。この結果は全国に稼動している同型の装置の保守点検に役立つものと考える。