ユニットと裏面検査ユニットを搭載した複合型のウエハ自動外観検査装置です。移載機能と厚み測定機能を備えたウエハ厚み測定装置です。顧客の仕様に合わせカスタマイズに対応致します。純水とエアーの2流体でダイシング後のウエハ表面を洗浄する装置です。ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応致します。製品詳細はこちら■ウエハ搬送機ウエハの自動搬送を行うことが出来る搬送機です。カセットからウエハを取出し、測定機に搬送し、測定終了後のウエハを元のカセット棚に自動搬送します。ご希望の測定機、検査機に対応可能です。製品詳細はこちら■EFEMご希望のモジュール機器に接続可能なEFEMです。ご使用用途に応じ、カスタマイズ仕様に対応致します。TR100シリーズ顧客の仕様に合わせた装置構成を前提として、装置をご提供します。厚薄ウエハの搬送など、顧客が現在かかえている問題に相談に応じます。TR100-miniTR100-miniは、従来のウエハ搬送機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供します。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。FO-300FOUPドアを自動で開閉するフロントオープンタイプのFOUPオープナーです。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。製品詳細はこちら■欠陥検査装置ワークの表面、裏面、内面の欠陥を検出することが出来ます。最適な照明、カメラを選定します。顧客の検出対象物を実際に撮像、検査処理し検証を行います。