(H_3C)_3N$のケイ素類似体である。以下のような違いがある。C-N$結合よりも極性が大きいからである。この差のため、トリシリルアミン中のシリル基間には反発的な長距離力(静電力)が働き、平面構造をとる原因となっている。(平面構造を取る原因ではなく、あくまで静電的な反発であり、d軌道の寄与は関係がない。d軌道の寄与はルイス塩基性に影響するのみである。sp^2$混成軌道ができて、孤立電子対が$π$結合を通じて非局在化するからである。(非局在化は平面構造を取る原因ではない。